Ваш браузер устарел!

Браузер, которым вы пользуетесь для просмотра этого сайта, устарел и не соответствует современным технологическим стандартам Интернета.

Вы можете установить последнюю версию подходящего браузера, воспользовавшись ссылками ниже:


Вернуться к списку ЦКП

Функциональный контроль и диагностика микро- и наносистемной техники

Сокращенное наименование ЦКП: ЦКП НПК "Технологический центр"

Базовая организация: Федеральное государственное бюджетное научное учреждение «Научно-производственный комплекс «Технологический центр»

Ведомственная принадлежность: Минобрнауки России

Год создания ЦКП: 2008

Сайт ЦКП: http://www.tcen.ru/rus/ckp/

Заказать услуги ЦКП

Контактная информация:

Местонахождение ЦКП:

  • Федеральный округ: Центральный
  • Регион: г. Москва
  • 124498, г. Зеленоград, пр. 4806, д.5

Руководитель ЦКП:

Контактное лицо:

  • Сницар Валерий Григорьевич
  • +7 (499) 7409011
  • svg@tcen.ru

Сведения о результативности за 2017 год (данные ежегодного мониторинга)

Участие в мониторинге: даЧисло организаций-пользователей, ед.: 12Число публикаций, ед.: 12Загрузка в интересах внешних организаций-пользователей, %: 5.98

Краткое описание ЦКП:

Центр коллективного пользования научным и испытательным оборудованием «Функциональный контроль и диагностика микро- и наносистемной техники» является структурным подразделением «НПК «Технологический центр».
ЦКП обеспечивает проведение научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ, исследований и экспериментов на научном, измерительном и испытательном оборудовании ЦКП в интересах НПК «Технологический центр», научных и образовательных учреждений, промышленных предприятий и организаций по техническим заданиям, типовым программам и методикам.
Основные цели и функции ЦКП:
1.   Обеспечение заинтересованным пользователям проведения комплексных исследований, измерений и испытаний изделий микро- и наноэлектроники, микро- и наносистемной техники на современном высокотехнологичном научном, измерительном и испытательном оборудования ЦКП.
2.   Выполнение научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ, а также оказание услуг заинтересованным пользователям в проведении:
- комплексных исследований структур и поверхностей материалов;
- функционального контроля и диагностического неразрушающего контроля параметров изделий микро- и наноэлектроники, микро- и наносистемной техники;
- испытаний на воздействие механических и климатических факторов.
3.   Повышение эффективности использования оборудования путем расширения круга пользователей и развития приборной базы ЦКП.
4.   Участие в подготовке специалистов и кадров высшей квалификации в области микро- и наноэлектроники, микро- и наносистемной техники.
Основные задачи ЦКП:
1. Выполнение исследований по приоритетным направлениям развития науки, технологий и техники в Российской Федерации.
2. Развитие существующих и создание новых направлений диагностики, методов и методик проведения исследований, измерений и испытаний.
3. Проведение комплексных исследований, испытаний и измерений изделий микро- и наноэлектроники, микро- и наносистемной техники.

ЦКП является структурным подразделением подразделений НПК «Технологический центр» и использует в своей деятельности научно-производственный потенциал и научное исследовательское измерительное и испытательное оборудование следующих отделов и лабораторий:
1. Отдел интегральных микросхем (ОИМ), в составе:
НИЛ разработки больших интегральных схем (НИЛ БИС);
НИЛ разработки систем автоматизированного проектирования (НИЛ САПР);
НИЛ проектирования элементной базы и технологических маршрутов (НИЛ ПЭБ и ТМ);
2. Отдел микро системной техники (ОМСТ), в составе:
НИЛ нано- и микромеханических систем (НИЛ НМЭМС);
НИЛ магнитополупроводниковых нано- и микросистем (НИЛ МПНМС);
3. НИЛ микросистем и микроэлектронной аппаратуры (НИЛ ММЭА);
4. НИЛ перспективных процессов (НИЛ ПП);
5. НИЛ интегральных биохимических наносенсоров (НИЛ ИБН);
6. Лаборатория испытаний;
7. Участок измерений БИС.

Направления научных исследований, проводимых в ЦКП:

  • Функциональный контроль, диагностика, комплексный анализ структур и поверхностей компонентов микро- и наносистемной техники, преобразователей физических величин и изделий микро- и наноэлектроники;
  • Инструментальные исследования и диагностика микро и наносистемной техники;
  • Функциональный контроль и испытания микросистем.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):

  • Индустрия наносистем
  • Информационно-телекоммуникационные системы

Фотографии ЦКП:

Научное оборудование ЦКП (номенклатура — 21 ед., нет данных о загрузке за 2018 год):

Анализатор микросистем MSA-500 (Polyteс)
Загрузка прибора: нет данных за 2018 год
Марка:  MSA-500
Фирма-изготовитель:  Polyteс
Страна происхождения:  Германия
Год выпуска:  2011
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  да

Вибростенд электродинамический
Загрузка прибора: нет данных за 2018 год
Марка:  V650
Фирма-изготовитель:  LDS-Dactron
Страна происхождения:  Великобритания
Год выпуска:  2014
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  да

Зондовый сканирующий микроскоп
Загрузка прибора: нет данных за 2018 год
Марка:  Dimension ICON
Фирма-изготовитель:  Bruker
Страна происхождения:  Соединённые Штаты Америки
Год выпуска:  2012
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  да

Измеритель магнитных характеристик тонкопленочных материалов MESA-200 (SHB)
Загрузка прибора: нет данных за 2018 год
Марка:  MESA-200
Фирма-изготовитель:  SHB instruments inc
Страна происхождения:  Соединённые Штаты Америки
Год выпуска:  2012
Количество единиц:  1

Измерительный комплекс АИК-ТЕСТ-2 (MIKI) с зондовой установкой ЭМ-6010 №1
Загрузка прибора: нет данных за 2018 год
Марка:  АИК-ТЕСТ-2
Фирма-изготовитель:  MIKI
Страна происхождения:  Венгрия
Год выпуска:  1991
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  да

Измерительный комплекс АИК-ТЕСТ-2 (MIKI) с зондовой установкой ЭМ-6010 №2
Загрузка прибора: нет данных за 2018 год
Марка:  АИК-ТЕСТ-2
Фирма-изготовитель:  MIKI
Страна происхождения:  Венгрия
Год выпуска:  1991
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  да

Камера тепла и холода Tabai MC-71 №1
Загрузка прибора: нет данных за 2018 год
Марка:  Tabai MC-71
Фирма-изготовитель:  Tabai Espec Corporation
Страна происхождения:  Япония
Год выпуска:  1995
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  да

Камера тепла и холода Tabai MC-71 №2
Загрузка прибора: нет данных за 2018 год
Марка:  Tabai MC-71
Фирма-изготовитель:  Tabai Espec Corporation
Страна происхождения:  Япония
Год выпуска:  1995
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  да

Камера тепла, холода, влаги
Загрузка прибора: нет данных за 2018 год
Марка:  ARS -0390
Фирма-изготовитель:  Espec
Страна происхождения:  Япония
Год выпуска:  2014
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  да

Полупроводниковая измерительная система MDC CSM/Win System
Загрузка прибора: нет данных за 2018 год
Марка:  MDC CSM
Фирма-изготовитель:  MDC
Страна происхождения:  Соединённые Штаты Америки
Год выпуска:  2005
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  да

Система измерений динамических параметров микросхем в диапазоне температур
Загрузка прибора: нет данных за 2018 год
Марка:  HP-82000-D50
Фирма-изготовитель:  Agillent Technologies
Страна происхождения:  Соединённые Штаты Америки
Год выпуска:  1996
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  да

Спектроскопический эллипсометр
Загрузка прибора: нет данных за 2018 год
Марка:  SENDURO
Фирма-изготовитель:  SENTECH Instruments GmbH
Страна происхождения:  Германия
Год выпуска:  2013
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  да

Специализированный инфракрасный Фурье-спектрометр
Загрузка прибора: нет данных за 2018 год
Марка:  ФСМ1201
Фирма-изготовитель:  Инфраспек
Страна происхождения:  Россия
Год выпуска:  2013
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  да

Стенд электротермотренировки СЭТТ.ИМЭ №2
Загрузка прибора: нет данных за 2018 год
Марка:  СЭТТИИМЭ-2400
Фирма-изготовитель:  Аврора-ТЭХМО
Страна происхождения:  Россия
Год выпуска:  1990
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  да

Стенд электротеромтренировки СЭТТ.ИМЭ №1
Загрузка прибора: нет данных за 2018 год
Марка:  СЭТТ.ИМЭ-2400-040
Фирма-изготовитель:  Аврора-ТЭХМО
Страна происхождения:  Россия
Год выпуска:  1990
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  да

Стенд электротеромтренировки СЭТТ.ИМЭ-2400-040 (Аврора-ТЭХМО) №3
Загрузка прибора: нет данных за 2018 год
Марка:  СЭТТ.ИМЭ-2400-040
Фирма-изготовитель:  Аврора-ТЭХМО
Страна происхождения:  Россия
Год выпуска:  2010
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  да

Стенд электротеромтренировки СЭТТ.ИМЭ-2400-040 (Аврора-ТЭХМО) №4
Загрузка прибора: нет данных за 2018 год
Марка:  СЭТТ.ИМЭ-2400-040
Фирма-изготовитель:  Аврора-ТЭХМО
Страна происхождения:  Россия
Год выпуска:  2010
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  да

Стенд электротеромтренировки СЭТТ.ИМЭ-2400-040 (Аврора-ТЭХМО) №5
Загрузка прибора: нет данных за 2018 год
Марка:  СЭТТ.ИМЭ-2400-040
Фирма-изготовитель:  Аврора-ТЭХМО
Страна происхождения:  Россия
Год выпуска:  2010
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  да

Ударный стенд с системой управления SM-110
Загрузка прибора: нет данных за 2018 год
Марка:  SM-110
Фирма-изготовитель:  BM
Страна происхождения:  Соединённые Штаты Америки
Год выпуска:  2014
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  да

Универсальная проходная камера
Загрузка прибора: нет данных за 2018 год
Марка:  ПКУ-1М ЩЦМ2.7
Фирма-изготовитель:  НИИ Полупроводникового машиностроения
Страна происхождения:  Россия
Год выпуска:  2010
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  да

Центрифуга WEB Technology модель 9000 (конфигурация 9051)
Загрузка прибора: нет данных за 2018 год
Марка:  9051R
Фирма-изготовитель:  Web Technology
Страна происхождения:  Соединённые Штаты Америки
Год выпуска:  2011
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  да

Услуги ЦКП (номенклатура — 16 ед.):

Для подачи заявки на оказание услуги щелкните по ее наименованию

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Безопасность и противодействие терроризму; Индустрия наносистем; Информационно-телекоммуникационные системы
Краткое описание услуги:  Измерение амплитудно-частотных характеристик микромеханических элементов в МЭМС и НЭМС

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Безопасность и противодействие терроризму; Информационно-телекоммуникационные системы

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Безопасность и противодействие терроризму; Индустрия наносистем; Информационно-телекоммуникационные системы
Краткое описание услуги:  Измерение магнитных характеристик тонкопленочных магнитнорезистивных наноструктур и магнитострикионных материалов в составе пластин диаметром от 100 до 200 мм

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Безопасность и противодействие терроризму; Индустрия наносистем; Информационно-телекоммуникационные системы
Краткое описание услуги:  Измерение толщин и оптических характеристик одно- и многослойных плёнок c помощью автоматической эллипсометрической измерительной системы SENDURO

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Безопасность и противодействие терроризму; Информационно-телекоммуникационные системы

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Безопасность и противодействие терроризму; Информационно-телекоммуникационные системы

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Безопасность и противодействие терроризму; Информационно-телекоммуникационные системы

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Безопасность и противодействие терроризму; Индустрия наносистем; Информационно-телекоммуникационные системы
Краткое описание услуги:  Измерение электрофизических параметров МДП-структур на основе измерения высокочастотных (ВЧ) вольт-фарадных характеристик (ВФХ) с помощью ртутного зонда (Параметры: напряжение плоских зон, ёмкость плоских зон, ёмкость диэлектрика, пороговое напряжение, эффективный заряд в диэлектрике, термополевая стабильность).

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Безопасность и противодействие терроризму; Индустрия наносистем; Информационно-телекоммуникационные системы
Краткое описание услуги:  Испытание микросхем на вибропрочность и виброустойчивость

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Безопасность и противодействие терроризму; Информационно-телекоммуникационные системы
Краткое описание услуги:  Испытания на воздействие одиночного удара до 30 000g изделий микро- и наноэлектроники, МЭМС и НЭМС

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Безопасность и противодействие терроризму; Индустрия наносистем; Информационно-телекоммуникационные системы
Краткое описание услуги:  Испытание микросхем на воздействие повышенной влажности воздуха (длительное и ускоренное).

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Безопасность и противодействие терроризму; Информационно-телекоммуникационные системы

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Безопасность и противодействие терроризму; Информационно-телекоммуникационные системы

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Безопасность и противодействие терроризму; Индустрия наносистем; Информационно-телекоммуникационные системы
Краткое описание услуги:  Испытания микросхем на воздействие линейного ускорения до 30000 g

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Безопасность и противодействие терроризму; Индустрия наносистем

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Безопасность и противодействие терроризму; Индустрия наносистем; Информационно-телекоммуникационные системы
Краткое описание услуги:  Контроль концентрации междуузельного кислорода и водорода замещения, а также толщины эпитаксиальных слоев полупроводниковых пластин с помощью инфракрасного Фурье-спектрометра

Методики измерений, применяемые в ЦКП (номенклатура — 25 ед.):

ГАВЛ.60202.00006. Методика контроля электрических статических параметров микросхем в составе кремниевых пластин для определения функционирования на установке НР-82000 (США) с зондовой установкой
Наименование организации, аттестовавшей методику :  НПК "Технологический центр"
Дата аттестации:  25.05.2009
Методика уникальна:  нет

ГАВЛ.60202.00007. Методика контроля электрических параметров тестовых элементов микросхем на измерительном стенде AIK-TEST (Венгрия)
Наименование организации, аттестовавшей методику :  НПК "Технологический центр"
Дата аттестации:  10.11.2009
Методика уникальна:  нет

ГАВЛ.60202.00081. Методика контроля электрофизических параметров МДП-структур на основе измерения высокочастотных (ВЧ) вольт-фарадных характеристик (ВФХ) с помощью ртутного зонда (Параметры: напряжение плоских зон, ёмкость плоских зон, ёмкость диэлектрика, пороговое напряжение, эффективный заряд в диэлектрике, термополевая стабильность)
Наименование организации, аттестовавшей методику :  НПК "Технологический центр"
Дата аттестации:  17.04.2012
Методика уникальна:  нет

ГАВЛ.60207.00002 Методика испытания микросхем при повышенной температуре (электротермотренировка) для выявления потенциально ненадежных микросхем.
Наименование организации, аттестовавшей методику :  НПК "Технологический центр"
Дата аттестации:  03.06.2004
Методика уникальна:  нет

ГАВЛ.410109.14ПМ Методика измерений поля магнитной анизотропии тонкопленочных магнитнорезистивных наноструктур
Наименование организации, аттестовавшей методику :  ФГУП "ВНИИМС"
Дата аттестации:  30.06.2015
Методика уникальна:  нет

ГАВЛ.410109.13ПМ Методика измерений поверхностного сопротивления тонкопленочных магнитнорезистивных наноструктур
Наименование организации, аттестовавшей методику :  ФГУП "ВНИИМС"
Дата аттестации:  30.06.2015
Методика уникальна:  нет

ГАВЛ.410109.12ПМ Методика измерений магнитострикции магнитнорезистивных наноструктур
Наименование организации, аттестовавшей методику :  ФГУП "ВНИИМС"
Дата аттестации:  30.06.2015
Методика уникальна:  нет

ГАВЛ.410109.11ПМ Методика измерений магниторезиствного эффекта тонкопленочных наноструктур
Наименование организации, аттестовавшей методику :  ФГУП "ВНИИМС"
Дата аттестации:  30.06.2015
Методика уникальна:  нет

ГАВЛ.410109.10ПМ Методика измерений коэрцитивной силы магнитнорезистивных наноструктур
Наименование организации, аттестовавшей методику :  ФГУП "ВНИИМС"
Дата аттестации:  30.06.2015
Методика уникальна:  нет

ГАВЛ.60202.00135 Контроль параметров полупроводниковых пластин с помощью ИК Фурье-спектрометра
Наименование организации, аттестовавшей методику :  НПК "Технологический центр"
Дата аттестации:  13.10.2014
Методика уникальна:  нет

ГАВЛ.60202.00134 Измерение характеристик пленок c помощью автоматической эллипсометрической измерительной системы SENDURO
Наименование организации, аттестовавшей методику :  НПК "Технологический центр"
Дата аттестации:  06.10.2014
Методика уникальна:  нет

ГАВЛ.60207.00012 Испытание микросхем на повышенной влажности воздуха (длительное и ускоренное)
Наименование организации, аттестовавшей методику :  НПК "Технологический центр"
Дата аттестации:  30.05.2014
Методика уникальна:  нет

ГАВЛ.60207.00015 Испытание микросхем на вибропрочность
Наименование организации, аттестовавшей методику :  НПК "Технологический центр"
Дата аттестации:  07.10.2014
Методика уникальна:  нет

ГАВЛ.60207.00003 Методика испытания микросхем на воздействие линейного ускорения до 30000g
Наименование организации, аттестовавшей методику :  НПК "Технологический центр"
Дата аттестации:  14.05.2012
Методика уникальна:  нет

ГАВЛ.4081109.006ПМ Методика исследования электрофизических свойств поверхности средствами сканирующей зондовой микроскопии
Наименование организации, аттестовавшей методику :  НПК "Технологический центр"
Дата аттестации:  17.07.2012
Методика уникальна:  нет

ГАВЛ.4081109.005ПМ Методика исследования электрохимических свойств поверхности средствами сканирующей зондовой микроскопии
Наименование организации, аттестовавшей методику :  НПК "Технологический центр"
Дата аттестации:  17.07.2012
Методика уникальна:  нет

ГАВЛ.4081109.004ПМ Методика выполнения измерений параметров поверхности средствами сканирующей туннельной микроскопии
Наименование организации, аттестовавшей методику :  НПК "Технологический центр"
Дата аттестации:  17.07.2012
Методика уникальна:  нет

ГАВЛ.408109.003ПМ Методика выполнения полуавтоматических измерений параметров топографии поверхности методами атомно-силовой микроскопии
Наименование организации, аттестовавшей методику :  НПК "Технологический центр"
Дата аттестации:  17.07.2012
Методика уникальна:  нет

ГАВЛ.60207.00001 Методика испытания микросхем на воздействие повышенной и пониженной температуры среды (термоциклирование)
Наименование организации, аттестовавшей методику :  НПК "Технологический центр"
Дата аттестации:  12.12.2011
Методика уникальна:  нет

ГАВЛ.60202.00024 Методика контроля функционирования и измерения электрических статических параметров микросхем в корпусном исполнении при нормальных климатических условиях с использованием установки НР-82000 (США) с программируемой рабочей станцией НР-700i (США)
Наименование организации, аттестовавшей методику :  НПК "Технологический центр"
Дата аттестации:  16.06.2009
Методика уникальна:  нет

ГАВЛ.4081109.002 ПМ Методика выполнения измерений амплитудно-частотных характеристик микромеханических элементов в составе тестовых структур МЭМС и НЭМС
Наименование организации, аттестовавшей методику :  ОАО "НИЦПВ"
Дата аттестации:  28.12.2012
Методика уникальна:  нет

ГАВЛ.4081109.001 ПМ Методика выполнения измерений линейных размеров топологии поверхности пленочных и объемных микромеханических элементов тестовых структур МЭМС и НЭМС
Наименование организации, аттестовавшей методику :  ОАО "НИЦПВ"
Дата аттестации:  28.12.2012
Методика уникальна:  нет

ГАВЛ.60207.00018 Испытание на воздействие одиночного удара
Наименование организации, аттестовавшей методику :  НПК "Технологический центр"
Дата аттестации:  25.06.2015
Методика уникальна:  нет

ГАВЛ.60202.00108 Контроль элементов тестовой полосы на пластине (АИК-ТЕСТ)
Наименование организации, аттестовавшей методику :  НПК "Технологический центр"
Дата аттестации:  09.11.2009
Методика уникальна:  нет

ГАВЛ.60202.00042 КЭП и ФК микросхем БМК при крайних значениях температур (НР82000-D50)
Наименование организации, аттестовавшей методику :  НПК "Технологический центр"
Дата аттестации:  08.04.2013
Методика уникальна:  нет

Вернуться к списку ЦКП

 

Для просмотра сайта поверните экран