Центры коллективного пользования

Центр коллективного пользования уникальным научным оборудованием в области нанотехнологий (ЦКП МФТИ)

ЦКП создан в 2007 году

Данный ЦКП был поддержан в рамках мероприятия 5.2 ФЦП «Исследования и разработки по приоритетным направления развития научно-технологического комплекса России на 2007-2013 годы»
Данный ЦКП был поддержан в рамках мероприятия 3.1.2 ФЦП «Исследования и разработки по приоритетным направления развития научно-технологического комплекса России на 2014-2020 годы»
Данный университет является победителем конкурсного отбора программ развития университетов, в отношении которых устанавливается категория «национальный исследовательский университет (НИУ)»
Базовая организация данного ЦКП является координатором технологической платформы: Технологии мехатроники, встраиваемых систем управления, радиочастотной идентификации и роботостроение
Адрес
Руководитель
  • 👤Тодуа Павел Андреевич
  • 📞(495) 4088188
  • negrov.dv@mipt.ru
Контактное лицо
  • 👤Негров Дмитрий Владимирович
  • 📞(910) 4699648
  • negrov.dv@mipt.ru
Сведения о результативности за 2016 год (данные мониторинга)
Участие в мониторинге Число организаций-пользователей, ед. Число публикаций, ед. Загрузка в интересах внешних организаций-пользователей, %
да15960.06
Базовая организация

Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Московский физико-технический институт (государственный университет)»

Информация о центре коллективного пользования (ЦКП)

Целью деятельности центра коллективного пользования уникальным научным оборудованием в области нанотехнологий (ЦКП МФТИ) является:

- Повышение уровня фундаментальных и прикладных исследований физико-химических свойств поверхности твердого тела, нанообъектов, исследования материалов, структур и объектов нанотехнологий.
- Привлечение высококвалифицированного персонала к разработке и максимально широкому применению новых методов исследований при выполнении совместных научных и научно-технических проектов.
- Подготовка высококвалифицированного персонала в ходе стажировок, участия студентов, магистрантов и аспирантов в выполнении фундаментальных и прикладных научных исследований.

Направления научных исследований

  • Измерение геометрических параметров наноструктур и нанообъектов (ПЭМ, РЭМ, АСМ). Возможность измерения параметров диэлектрических образцов (РЭМ) в вакууме до 1 Торр;
  • Определение локального элементного состава с помощью систем энергодисперсионного и волнового рентгеновского микроанализа (EDAX);
  • Исследование спектров катодолюминесценции в диапазоне длин волн от 300 нм до 1000 нм (Gatan);
  • Определение фазовой структуры поликристаллов методом дифракции обратно-рассеянных электронов;
  • Рентгенофазовый и рентгеноструктурный анализ порошков и тонких плёнок (рентгеновская дифракция);
  • Исследование рельефа и физико-химических свойств поверхности нанообъектов и наноструктур с помощью современных методов зондовой микроскопии (АСМ, СТМ);
  • Исследование и модификация электрических (проводимость, емкостная микроскопия) и магнитных свойств объектов методами сканирующей зондовой микроскопии;
  • Определение толщин тонких плёнок;
  • Исследование электрофизических характеристик структур и объектов (в том числе в СВЧ диапазоне);
  • Электронная литография с предельным разрешением до 10 нм;
  • Нанесение тонких пленок металлов и диэлектриков от 1 нм до 1 мкм (магнетронное и электронно-лучевое напыление, атомно-слоевое осаждение).

Приоритетные направления
141700, г. Долгопрудный, Институтский пер., д.9
📷

Оборудование (17)

Наименование Страна Фирма-изготовитель Марка Год
Система плазмохимического травления с вакуумным шлюзом Trion
Соединённые Штаты Америки Trion Technology Trion Technology Minilock system III 2015
Двухлучевой растровый электронный микроскоп Quanta 200 3D (FEI)
Соединённые Штаты Америки FEI Inc. Quanta 200 3D 2007
Спектрофотометр высокого разрешения HR4000 CJ-UV-NIR (Ocean Optics)
Соединённые Штаты Америки Ocean Optics, Inc. HR4000 2015
Принтер для прямой печати пассивных элементов Dimatix Materials Printer DMP-2831 (Fujifilm)
Соединённые Штаты Америки Fujifilm Dimatix Materials Printer 2015
Зондовая станция для электрофизических применений SUMMIT 11000B-M (Cascade Microtech)
Соединённые Штаты Америки Cascade Microtech, Inc. SUMMIT 11000B-M 2013
Установка электронно-лучевого осаждения MEB 550 S (Plassys)
Франция PLASSYS-BESTEK MEB 550 S 2015
Установка импульсного лазерного осаждения PLD IVO-250-0.3-15 (Серния)
Россия Серния PLD 2015
Установка безмаскового совмещения и экспонирования MLA 100 (Heidelberg Instruments)
Германия Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH MLA 2015
Установка химико-механической полировки ХМП ВТ 370
Соединённые Штаты Америки Westech Systems Inc. ХМП 2014
Установка атомно-слоевого осаждения, Picosun (R200 Advanced), (Picosun Oy)
Финляндия Picosun Oy Picosun 2014
Вакуумная напылительная установка MagSput-DC-RF (TOR)
Соединённые Штаты Америки TOR MagSput-DC-RF 2012
Установка электронно- лучевой литографии CABL- 9050C (CRESTEC)
Япония CRESTEC CABL- 9050C 2013
Рентгеновский дифрактометр ARL XTRA
Россия Thermo ARL XTRA 2009
Просвечивающий электронный микроскоп JEM-2100 (JEOL)
Япония JEOL (Japanese Electron Optics Laboratory, Джеол) JEM-2100 2010
Сканирующий зондовый микроскоп Ntegra Prima (NT-MDT)
Россия ЗАО НТ-МДТ (ЗАО Нанотехнология МДТ, Инструменты нанотехнологий, Нанотехнология Санкт-Петер Ntegra Prima 2006
Растровый электронный микроскоп Qunta 200 (FEI) с системами комбинированного энергодисперсионного и волнового микроанализа, дифракции обратно рассеянных электронов, катодолюминисценции
Нидерланды FEI Qunta 200 2006
Растровый электронный микроскоп высокого разрешения JSM-7001F (JEOL)
Япония JEOL (Japanese Electron Optics Laboratory, Джеол) JSM-7001F 2009

Услуги (18)

Для подачи заявки на оказание услуги щелкните по ее наименованию.
Наименование Приоритетное направление
Исследование структур, сформированных лазерной резкой
Индустрия наносистем
Формирование сквозных отверстий в подложке кремния толщиной 100 мкм.
Индустрия наносистем
Измерение параметров кристаллических рельефных наноструктур методом просвечивающей электронной микроскопии
Индустрия наносистем
Исследование образцов резинобитумных модификаторов методом атомно-силовой микроскопии
Индустрия наносистем
Исследование шероховатости кремниевых пластин методом атомно-силовой микроскопии
Индустрия наносистем
Исследование структуры дорожных битумов и модельных образцов резинобитумных вяжущих
Индустрия наносистем
Исследование шероховатости оксида кремния
Индустрия наносистем
Исследование однородности размеров элементов маски из оксида кремния методом растровой электронной микроскопии
- наиболее востребованная услуга
Индустрия наносистем
Формирование оптической маски
Индустрия наносистем
Создание и экспериментальные исследования тестовых структур, демонстрирующих эффект резистивного переключения
Индустрия наносистем
Формирование тестовых образцов токонесущих наноструктур
Индустрия наносистем
Формирование тестового образца для оценки нелинейности сканирования растрового электронного микроскопа
Индустрия наносистем
Измерение линейных размеров структуры оптических волокон
Информационно-телекоммуникационные системы
Исследование методом катодной люминесценции
Рациональное природопользование
Исследование геометрических параметров тестового образца для оценки разрешения методом растровой электронной микроскопии
- наиболее востребованная услуга
Индустрия наносистем
Изучение микроструктуры магнитномягких высокоиндукционных материалов.
- наиболее востребованная услуга
Индустрия наносистем
Исследование образцов плёнок TiO2
Индустрия наносистем
Формирование структур в кремниевых пластинах методом плазмохимического травления и измерение их параметров
Индустрия наносистем

Методики (14)

Наименование методики Наименование организации, аттестовавшей методику Дата аттестации
Толщина тонкой пленки. Методика измерения с помощью рентгеновского дифрактометра. Открытое акционерное общество Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума (ОАО НИЦПВ) 25.12.2015
Толщина МИМ-структур (металл-изолятор-металл). Методика измерения с помощью рентгеновского дифрактометра. Открытое акционерное общество Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума (ОАО НИЦПВ) 25.12.2015
Толщина тонкой плёнки. Методика измерений с помощью просвечивающего электронного микроскопа. Открытое акционерное общество Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума (ОАО НИЦПВ) 28.11.2014
Ширина литографической линии. Методика измерений с помощью растрового электронного микроскопа. Открытое акционерное общество Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума (ОАО НИЦПВ) 28.11.2014
Площадь контактов. Методика измерений с помощью растрового электронного микроскопа в режиме регистрации отраженных электронов. Открытое акционерное общество Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума (ОАО НИЦПВ) 29.04.2013
Локальный химический анализ оксидных наноразмерных структур. Методика измерений с помощью рентгеновского фотоэлектронного спектрометра. Открытое акционерное общество Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума (ОАО НИЦПВ) 29.04.2013
Вольт-амперная характеристика наноматериалов и наноструктур. Методика измерений с помощью сканирующего зондового атомно-силового микроскопа. Открытое акционерное общество Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума (ОАО НИЦПВ) 29.04.2013
Локальное электрическое сопротивление наноматериалов и наноструктур. Методика выполнения измерений с помощью сканирующего зондового атомно-силового микроскопа для электрофизических измерений. Открытое акционерное общество Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума (ОАО НИЦПВ) 07.05.2010
Состав эпитаксиальных плёнок AlxGa1-xAs на подложке GaAs. Методика выполнения измерений с помощью порошкового рентгеновского дифрактометра. Открытое акционерное общество Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума (ОАО НИЦПВ) 07.05.2010
Химический анализ поверхности. Методика выполнения измерений с помощью блока детектирования рентгеновского излучения кремниевого в составе растрового электронного микроскопа. Открытое акционерное общество Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума (ОАО НИЦПВ) 15.12.2009
Линейные размеры микро- и нанообъектов. Методика выполнения измерений с помощью растрового электронного микроскопа Quanta 200. Открытое акционерное общество Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума (ОАО НИЦПВ) 12.11.2009
Эффективная шероховатость поверхности. Методика выполнения измерений с помощью сканирующего зондового микроскопа Ntegra Prima. Открытое акционерное общество Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума (ОАО НИЦПВ) 12.11.2009
Метрические параметры поверхности. Методика выполнения измерений с помощью сканирующего зондового микроскопа Ntegra Prima Открытое акционерное общество Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума (ОАО НИЦПВ) 01.09.2009
Толщина и межслоевой период тонких плёнок. Методика выполнения измерений с помощью порошкового рентгеновского дифрактометра. Открытое акционерное общество Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума (ОАО НИЦПВ) 07.05.2009

Возврат к списку


0 комментариев

Комментарии отсутствуют!

Вы можете оставить свое сообщение первым.

Написать комментарий