Ваш браузер устарел!

Браузер, которым вы пользуетесь для просмотра этого сайта, устарел и не соответствует современным технологическим стандартам Интернета.

Вы можете установить последнюю версию подходящего браузера, воспользовавшись ссылками ниже:


Вернуться к списку ЦКП

Центр коллективного пользования научным оборудованием «Диагностика микро- и наноструктур»

Сокращенное наименование ЦКП: ЦКП ДМНС

Базовая организация: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования «Ярославский государственный университет им. П.Г. Демидова»

Ведомственная принадлежность: Минобрнауки России

Год создания ЦКП: 2006

Сайт ЦКП: http://www.nano.yar.ru/

УНУ в составе оборудования ЦКП:

Заказать услуги ЦКП

Контактная информация:

Местонахождение ЦКП:

  • Федеральный округ: Центральный
  • Регион: Ярославская область
  • 150000, г. Ярославль, ул. Советская, д. 14

Руководитель ЦКП:

  • Рудый Александр Степанович, доктор физико-математических наук, профессор
  • +7 (84852) 246552
  • rudy@uniyar.ac.ru

Контактное лицо:

Сведения о результативности за 2017 год (данные ежегодного мониторинга)

Участие в мониторинге: даЧисло организаций-пользователей, ед.: 24Число публикаций, ед.: 21Загрузка в интересах внешних организаций-пользователей, %: 42.94

Краткое описание ЦКП:

Центр располагает самым современным аналитическим и диагностическим оборудованием для выполнения следующих видов работ:
    Научно-исследовательские работы и опытно-конструкторских разработки в области микро- и наноэлектроники;
    Научно-исследовательские работы и опытно-конструкторские разработки в области микросистемной техники:
        глубокое анизотропное плазмохимическое травление (Plasmalab 100)
        двухсторонняя литография (SUSS MJB4)
    Научно-исследовательские работы и опытно-конструкторские разработки в области химических источников тока (совместно с ИФХЭ РАН):
        изготовление тонкопленочных нанокомпозитных анодов (Оратория 22 с системой РРГ MKS)
        изготовление тонкопленочных нанокомпозитных катодов (Оратория 5 с системой РРГ MKS)
    Диагностика микро- и наноструктур электроники, наноматериалов, биоорганических нанообъектов.
    Заказной анализ широкого класса объектов методами:
        вторичной ионной масс-спектрометрии (IMS-4F);
        времяпролетной ионной масс-спектрометрии (IONTOF SIMS5);
        электронной сканирующей микроскопии (Supra 40);
        туннельной сканирующей микроскопии (GPI-Cryo-SEM);
        электронно-ионной сканирующей микроскопии (Quanta 3D 200i);
        просвечивающей электронной микроскопии (Tecnai G2 F20 U-TWIN);
        зондовой микроскопии (СММ 2000) и профилометрии (модель 130);
        обратного резерфордовского рассеяния (К2МV);
        оже-спектроскопии (PHI-660);
        ИК фурье-спектроскопии (IFS 113-v);
        рентгеноструктурного анализа (ARL X'tra);
        Рамановской спектрометрии (EnSpector R532);
    Научно-образовательные услуги:
        обеспечение основной образовательной программы «Электроника и наноэлектроника». Программа включена в реестр образовательных программ ОАО Роснано http://edu-reestr.rusnano.com/;
        повышение квалификации и подготовка операторов аналитического и технологического оборудования микро- и наноэлектроники. Программа включена в реестр  ОАО Роснано http://edu-reestr.rusnano.com/;
        поддержка спецкурсов отдельных образовательных программ;
        экспериментальная поддержка курсовых работ, дипломных проектов, кандидатских и докторских диссертаций.

Направления научных исследований, проводимых в ЦКП:

  • комплексные исследования в области микро- и наноэлектроники;
  • разработка физических, технологических и метрологических основ создания критических элементов структур интегральных приборов наноэлектроники;
  • развитие методов диагностики микро- и наноструктур электроники, наноматериалов, биологических нанообъектов;
  • разработка нанокомпозитных и наноструктурированных материалов для солнечной энергетики и химических источников тока.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):

  • Индустрия наносистем
  • Безопасность и противодействие терроризму
  • Рациональное природопользование
  • Энергоэффективность, энергосбережение, ядерная энергетика

Фотографии ЦКП:

Научное оборудование ЦКП (номенклатура — 26 ед.):

Времяпролетный масс-спектрометр IONTOF SIMS5 (GmbH)
Марка:  IONTOF SIMS5
Фирма-изготовитель:  ION-TOF GmbH
Страна происхождения:  Германия
Год выпуска:  2007
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  да

Вторичный ионный масс-спектрометр IMS-4F (Cameca)
Марка:  IMS-4F
Фирма-изготовитель:  Cameca
Страна происхождения:  Франция
Год выпуска:  1986
Количество единиц:  1

Двухлучевой электронный микроскоп QUANTA 3D 200i (FEI)
Марка:  QUANTA 3D 200i
Фирма-изготовитель:  FEI
Страна происхождения:  Нидерланды
Год выпуска:  2011
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  да

ИК-спектрометр Фурье IFS-113v (Bruker)
Марка:  IFS-113v
Фирма-изготовитель:  Bruker Corporation
Страна происхождения:  Германия
Год выпуска:  1988
Количество единиц:  1

Класс мультимикроскопов и профилометров CM-2000, 130
Марка:  CM-2000, 130
Фирма-изготовитель:  ЗАО «Протон-МИЭТ»
Страна происхождения:  Россия
Год выпуска:  2008
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  да

Комплекс измерительного оборудования Oriel I-V (Newport)
Марка:  Oriel I-V
Фирма-изготовитель:  Newport
Страна происхождения:  Соединённые Штаты Америки
Год выпуска:  2009
Количество единиц:  1

Микроскоп электронный Supra 40 с комплексом диагностики микро- и наноструктур (Carl Zeiss)
Марка:  Supra 40
Фирма-изготовитель:  Carl Zeiss (Zeiss AG, Карл Цейсс)
Страна происхождения:  Германия
Год выпуска:  2008
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  да

Микроскоп электронный сканирующий LEO 430 SEM (Carl Zeiss)
Марка:  LEO 430 SEM
Фирма-изготовитель:  Carl Zeiss (Zeiss AG, Карл Цейсс)
Страна происхождения:  Великобритания
Год выпуска:  1992
Количество единиц:  1

Оже-электронный спектрометр PHI-660 (Perkin-Elmer)
Марка:  PHI-660
Фирма-изготовитель:  Perkin-Elmer
Страна происхождения:  Соединённые Штаты Америки
Год выпуска:  1987
Количество единиц:  1

Оптический микроскоп VHX-2000 (Keyence)
Марка:  Keyence VHX-2000
Фирма-изготовитель:  Keyence
Страна происхождения:  Япония
Год выпуска:  2014
Количество единиц:  1

Оптический эмиссионный спектрометр Plasma Tecnology PC2000 (Qxford Instruments)
Марка:  Plasma Tecnology PC2000
Фирма-изготовитель:  Qxford Instruments
Страна происхождения:  Великобритания
Год выпуска:  2012
Количество единиц:  1

Программно-аппаратный комплекс для обеспечения рентгенофазовых исследований ARL Xtra
Марка:  ARL Xtra
Фирма-изготовитель:  Fisher Scientific
Страна происхождения:  Россия
Год выпуска:  2014
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  да

Рамановский спектрометр EnSpector R532 (ИнСпектр)
Марка:  EnSpector R532
Фирма-изготовитель:  ООО "ИнСпектр"
Страна происхождения:  Россия
Год выпуска:  2011
Количество единиц:  1

Установка дисковой резки пластин APD2 (Logitech)
Марка:  Logitech APD2
Фирма-изготовитель:  Logitech LTD
Страна происхождения:  Великобритания
Год выпуска:  2013
Количество единиц:  1

Установка ионной имплантации с системой RBS анализа K2MV (НVЕЕ)
Марка:  K2MV
Фирма-изготовитель:  НVЕЕ
Страна происхождения:  Нидерланды
Год выпуска:  1989
Количество единиц:  1

Установка магнетронного напыления Оратория 22M (Орион)
Марка:  Оратория 22M
Фирма-изготовитель:  Орион
Страна происхождения:  СССР (до 1991 года включительно)
Год выпуска:  1986
Количество единиц:  1

Установка магнетронного напыления Оратория 5M (НИИ)
Марка:  Оратория 5M
Фирма-изготовитель:  НИИ ТМ
Страна происхождения:  СССР (до 1991 года включительно)
Год выпуска:  1990
Количество единиц:  1

Установка плазмохимического осаждения MINI GOUPYL (Alcatel)
Марка:  MINI GOUPYL
Фирма-изготовитель:  Alcatel
Страна происхождения:  Франция
Год выпуска:  1989
Количество единиц:  1

Установка плазмохимического травления и осаждения Plasmalab 100 (Qxford)
Марка:  Plasmalab 100
Фирма-изготовитель:  Qxford Instruments
Страна происхождения:  Великобритания
Год выпуска:  2011
Количество единиц:  1

Установка совмещения фотошаблонов и экспонирования SUSS MJB4
Марка:  SUSS MJB4
Фирма-изготовитель:  SUSS Micro Tec AG
Страна происхождения:  Германия
Год выпуска:  2012
Количество единиц:  1

Устройство для вышлифовки ямок Моdel 200 Dimpling Grinder; 220-240 VAC 50/60 Hz (Fischione)
Марка:  Моdel 200 Dimpling Grinder; 220-240 VAC 50/60 Hz
Фирма-изготовитель:  Fischione Instruments
Страна происхождения:  Соединённые Штаты Америки
Год выпуска:  2012
Количество единиц:  1

Устройство для перфорирования образцов Model 130 Specimen Punch with Base; 3 mm (Fischione)
Марка:  Model 130 Specimen Punch with Base; 3 mm
Фирма-изготовитель:  Fischione Instruments
Страна происхождения:  Соединённые Штаты Америки
Год выпуска:  2012
Количество единиц:  1

Устройство для перфорирования образцов Model 170 Ultrasonic Disk Cutter; 220-240 VAC 50/60 Hz (Fischione)
Марка:  Model 170 Ultrasonic Disk Cutter; 220-240 VAC 50/60 Hz
Фирма-изготовитель:  Fischione Instruments
Страна происхождения:  Соединённые Штаты Америки
Год выпуска:  2012
Количество единиц:  1

Устройство для полировки образцов Model 160 Specimen Grinder (Fischione)
Марка:  Model 160 Specimen Grinder
Фирма-изготовитель:  Fischione Instruments
Страна происхождения:  Соединённые Штаты Америки
Год выпуска:  2012
Количество единиц:  1

Устройство ионного утонения Model 1050 TEM Mill; Basic version; 220-240 VAC 50/60 Hz (Fischione)
Марка:  Model 1050 TEM Mill; Basic version; 220-240 VAC 50/60 Hz
Фирма-изготовитель:  Fischione Instruments
Страна происхождения:  Соединённые Штаты Америки
Год выпуска:  2012
Количество единиц:  1

Электронный микроскоп Tecnai G2 F20 U-Twin (FEI)
Марка:  Tecnai G2 F20 U-Twin
Фирма-изготовитель:  FEI Company
Страна происхождения:  Нидерланды
Год выпуска:  2010
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  да

Услуги ЦКП (номенклатура — 15 ед.):

Для подачи заявки на оказание услуги щелкните по ее наименованию

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Науки о жизни

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Энергоэффективность, энергосбережение, ядерная энергетика

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Энергоэффективность, энергосбережение, ядерная энергетика

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Науки о жизни

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Науки о жизни

Методики измерений, применяемые в ЦКП (номенклатура — 21 ед.):

КОЛИЧЕСТВЕННЫЙ ЭЛЕМЕНТНЫЙ АНАЛИЗ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ОБРАЗЦОВ НА ОСНОВЕ АЛЮМОСИЛИКАТОВ БЕЗ НАНЕСЕНИЯ ЭЛЕКТРОПРОВОДЯЩЕГО ПОКРЫТИЯ. Методика выполнения измерений на сканирующем электронном микроскопе Quanta 3D 200i.
Наименование организации, аттестовавшей методику :  Ярославский государственный университет им. П.Г. Демидова
Методика уникальна:  для России

Оценка относительного содержания кислорода и ванадия в тонкопленочных катодных покрытиях
Наименование организации, аттестовавшей методику :  Ярославский государственный университет им. П.Г. Демидова
Дата аттестации:  18.10.2016
Методика уникальна:  для России

Методика экспресс-контроля электрофизических параметров тонкопленочных катодов
Наименование организации, аттестовавшей методику :  Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Ярославский государственный университет им. П.Г. Демидова»
Дата аттестации:  07.09.2015

Методика экспресс-контроля электрофизических параметров тонкопленочных анодов
Наименование организации, аттестовавшей методику :  Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Ярославский государственный университет им. П.Г. Демидова»
Дата аттестации:  18.11.2015

Получение и анализ изображений микро- и нанообъектов биологического и биоминерального происхождения с установлением численных характеристик их размеров и формы. Методика выполнения измерений на сканирующем электронном микроскопе Quanta 3D 200i
Наименование организации, аттестовавшей методику :  Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ярославский Государственный Университет имени П.Г. Демидова"
Дата аттестации:  20.12.2014

Получение методом СЭМ высокого разрешения образцов наноразмерных объектов, наноструктурных материалов, сечений тонкослойных наноструктур и их анализ с получением численных данных о форме, размерах и локализации объектов и структурных особенностей. Методика выполнения измерений на сканирующем электронном микроскопе Supra-40
Наименование организации, аттестовавшей методику :  Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ярославский Государственный Университет имени П.Г. Демидова"
Дата аттестации:  20.12.2014

Методика пробоподготовки биологических нанообъектов для просвечивающей электронной микроскопии
Наименование организации, аттестовавшей методику :  Ярославский Государственный Университет имени П.Г. Демидова
Дата аттестации:  07.10.2013

Методика исследования фазового состава соединений кальция в оболочках нанобактерий различной природы, в том числе из Воротиловской научной скважины методом ИК-спектроскопии
Наименование организации, аттестовавшей методику :  Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ярославский Государственный Университет имени П.Г. Демидова"
Дата аттестации:  07.10.2013

Методика исследования фазового состава соединений кальция в оболочках нанобактерий различной природы, в том числе из Воротиловской научной скважины методом рентгеновской дифрактометрии
Наименование организации, аттестовавшей методику :  Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ярославский Государственный Университет имени П.Г. Демидова"
Дата аттестации:  07.10.2013

Методика исследования фазового состава соединений кальция в оболочках нанобактерий различной природы, в том числе из Воротиловской научной скважины методами электронографии
Наименование организации, аттестовавшей методику :  Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ярославский Государственный Университет имени П.Г. Демидова"
Дата аттестации:  07.10.2013

Методика контроля профиля тренчей трапецеидального вида методом растровой электронной микроскопии
Наименование организации, аттестовавшей методику :  Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ярославский Государственный Университет имени П.Г. Демидова"
Дата аттестации:  20.12.2012

Методика формирования наноразмерных тренчей трапецеидального вида на установке QUANTA 3D 200i
Наименование организации, аттестовавшей методику :  Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ярославский Государственный Университет имени П.Г. Демидова"
Дата аттестации:  20.12.2012

Методика исследования морфологии нанобактерий различной природы, в том числе из Воротиловской научной скважины методом просвечивающей электронной микроскопии
Наименование организации, аттестовавшей методику :  Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ярославский Государственный Университет имени П.Г. Демидова"
Дата аттестации:  07.10.2013

Методика исследования морфологии нанобактерий различной природы, в том числе из Воротиловской научной скважины методом сканирующей электронной микроскопии
Наименование организации, аттестовавшей методику :  Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ярославский Государственный Университет имени П.Г. Демидова"
Дата аттестации:  07.10.2013

Методика поверки рентгеновского дифрактометра ARL X’TRA
Наименование организации, аттестовавшей методику :  ГЦИ СИ ФГУП "ВНИИМ им. Д.И. Менделеева"
Дата аттестации:  05.03.2009

Методика рентгеноструктурного количественного анализа цеолитов
Наименование организации, аттестовавшей методику :  Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ярославский Государственный Университет имени П.Г. Демидова"
Дата аттестации:  20.12.2012

Методика пробоподготовки образцов для ПЭМ Tecnai G2 F20 U-Twin на оборудовании электронной микроскопии и пробоподготовки Quanta 3D 200i
Наименование организации, аттестовавшей методику :  Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ярославский Государственный Университет имени П.Г. Демидова"
Дата аттестации:  20.12.2012

Методика ионной имплантации
Наименование организации, аттестовавшей методику :  Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ярославский Государственный Университет имени П.Г. Демидова"
Дата аттестации:  20.12.2012

Методика RBS-анализа
Наименование организации, аттестовавшей методику :  Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ярославский Государственный Университет имени П.Г. Демидова"
Дата аттестации:  20.12.2012

Методика пробоподготовки для просвечивающей электронной микроскопии на установке утонения TEM Mill (модель 1050) фирмы Fischione Instruments
Наименование организации, аттестовавшей методику :  Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ярославский Государственный Университет имени П.Г. Демидова"
Дата аттестации:  20.12.2012

Методика пробоподготовки и исследования образцов из Кольской сверхглубокой скважины методом просвечивающей электронной микроскопии
Наименование организации, аттестовавшей методику :  Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ярославский Государственный Университет имени П.Г. Демидова"
Дата аттестации:  20.12.2012

Вернуться к списку ЦКП

 

Для просмотра сайта поверните экран