Центры коллективного пользования

Центр коллективного пользования научным оборудованием «Диагностика микро- и наноструктур» (ЦКП ДМНС)

ЦКП создан в 2006 году

Данный ЦКП был поддержан в рамках мероприятия 5.2 ФЦП «Исследования и разработки по приоритетным направления развития научно-технологического комплекса России на 2007-2013 годы»
Адрес
  • Центральный, Ярославская область
  • 150000, г. Ярославль, ул. Советская, д. 14
  • 🌎http://www.nano.yar.ru/
Руководитель
  • 👤Рудый Александр Степанович
  • 📞(84852) 246552
  • rudy@uniyar.ac.ru
Контактное лицо
Сведения о результативности за 2016 год (данные мониторинга)
Участие в мониторинге Число организаций-пользователей, ед. Число публикаций, ед. Загрузка в интересах внешних организаций-пользователей, %
да4711743.38
Базовая организация

Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования «Ярославский государственный университет им. П.Г. Демидова»

Информация о центре коллективного пользования (ЦКП)

Центр располагает самым современным аналитическим и диагностическим оборудованием для выполнения следующих видов работ:
    Научно-исследовательские работы и опытно-конструкторских разработки в области микро- и наноэлектроники;
    Научно-исследовательские работы и опытно-конструкторские разработки в области микросистемной техники:
        глубокое анизотропное плазмохимическое травление (Plasmalab 100)
        двухсторонняя литография (SUSS MJB4)
    Научно-исследовательские работы и опытно-конструкторские разработки в области химических источников тока (совместно с ИФХЭ РАН):
        изготовление тонкопленочных нанокомпозитных анодов (Оратория 22 с системой РРГ MKS)
        изготовление тонкопленочных нанокомпозитных катодов (Оратория 5 с системой РРГ MKS)
    Диагностика микро- и наноструктур электроники, наноматериалов, биоорганических нанообъектов.
    Заказной анализ широкого класса объектов методами:
        вторичной ионной масс-спектрометрии (IMS-4F);
        времяпролетной ионной масс-спектрометрии (IONTOF SIMS5);
        электронной сканирующей микроскопии (Supra 40);
        туннельной сканирующей микроскопии (GPI-Cryo-SEM);
        электронно-ионной сканирующей микроскопии (Quanta 3D 200i);
        просвечивающей электронной микроскопии (Tecnai G2 F20 U-TWIN);
        зондовой микроскопии (СММ 2000) и профилометрии (модель 130);
        обратного резерфордовского рассеяния (К2МV);
        оже-спектроскопии (PHI-660);
        ИК фурье-спектроскопии (IFS 113-v);
        рентгеноструктурного анализа (ARL X'tra);
        Рамановской спектрометрии (EnSpector R532);
    Научно-образовательные услуги:
        обеспечение основной образовательной программы «Электроника и наноэлектроника». Программа включена в реестр образовательных программ ОАО Роснано http://edu-reestr.rusnano.com/;
        повышение квалификации и подготовка операторов аналитического и технологического оборудования микро- и наноэлектроники. Программа включена в реестр  ОАО Роснано http://edu-reestr.rusnano.com/;
        поддержка спецкурсов отдельных образовательных программ;
        экспериментальная поддержка курсовых работ, дипломных проектов, кандидатских и докторских диссертаций.

Направления научных исследований

  • комплексные исследования в области микро- и наноэлектроники;
  • разработка физических, технологических и метрологических основ создания критических элементов структур интегральных приборов наноэлектроники;
  • развитие методов диагностики микро- и наноструктур электроники, наноматериалов, биологических нанообъектов;
  • разработка нанокомпозитных и наноструктурированных материалов для солнечной энергетики и химических источников тока.

Уникальные научные установки (УНУ) в составе оборудования ЦКП

Установка ионной имплантации K2MV с системой RBS анализа

150000, г. Ярославль, ул. Советская, д. 14
📷

Оборудование (26)

Наименование Страна Фирма-изготовитель Марка Год
Оптический микроскоп VHX-2000 (Keyence)
Япония Keyence Keyence VHX-2000 2014
Установка дисковой резки пластин APD2 (Logitech)
Великобритания Logitech LTD Logitech APD2 2013
Оптический эмиссионный спектрометр Plasma Tecnology PC2000 (Qxford Instruments)
Великобритания Qxford Instruments Plasma Tecnology PC2000 2012
Установка плазмохимического травления и осаждения Plasmalab 100 (Qxford)
Великобритания Qxford Instruments Plasmalab 100 2011
Установка совмещения фотошаблонов и экспонирования SUSS MJB4
Германия SUSS Micro Tec AG SUSS MJB4 2012
Устройство ионного утонения Model 1050 TEM Mill; Basic version; 220-240 VAC 50/60 Hz (Fischione)
Соединённые Штаты Америки Fischione Instruments Model 1050 TEM Mill; Basic version; 220-240 VAC 50/60 Hz 2012
Устройство для вышлифовки ямок Моdel 200 Dimpling Grinder; 220-240 VAC 50/60 Hz (Fischione)
Соединённые Штаты Америки Fischione Instruments Моdel 200 Dimpling Grinder; 220-240 VAC 50/60 Hz 2012
Устройство для перфорирования образцов Model 170 Ultrasonic Disk Cutter; 220-240 VAC 50/60 Hz (Fischione)
Соединённые Штаты Америки Fischione Instruments Model 170 Ultrasonic Disk Cutter; 220-240 VAC 50/60 Hz 2012
Устройство для полировки образцов Model 160 Specimen Grinder (Fischione)
Соединённые Штаты Америки Fischione Instruments Model 160 Specimen Grinder 2012
Устройство для перфорирования образцов Model 130 Specimen Punch with Base; 3 mm (Fischione)
Соединённые Штаты Америки Fischione Instruments Model 130 Specimen Punch with Base; 3 mm 2012
Установка магнетронного напыления Оратория 5M (НИИ)
СССР (до 1991 года включительно) НИИ ТМ Оратория 5M 1990
Установка магнетронного напыления Оратория 22M (Орион)
СССР (до 1991 года включительно) Орион Оратория 22M 1986
Рамановский спектрометр EnSpector R532 (ИнСпектр)
Россия ООО "ИнСпектр" EnSpector R532 2011
Двухлучевой электронный микроскоп QUANTA 3D 200i (FEI)
Нидерланды FEI QUANTA 3D 200i 2011
Класс мультимикроскопов и профилометров CM-2000, 130
Россия ЗАО «Протон-МИЭТ» CM-2000, 130 2008
Электронный микроскоп Tecnai G2 F20 U-Twin (FEI)
Нидерланды FEI Company Tecnai G2 F20 U-Twin 2010
Программно-аппаратный комплекс для обеспечения рентгенофазовых исследований ARL Xtra
Россия Fisher Scientific ARL Xtra 2014
Комплекс измерительного оборудования Oriel I-V (Newport)
Соединённые Штаты Америки Newport Oriel I-V 2009
Микроскоп электронный Supra 40 с комплексом диагностики микро- и наноструктур (Carl Zeiss)
Германия Carl Zeiss (Zeiss AG, Карл Цейсс) Supra 40 2008
Времяпролетный масс-спектрометр IONTOF SIMS5 (GmbH)
Германия ION-TOF GmbH IONTOF SIMS5 2007
Установка плазмохимического осаждения MINI GOUPYL (Alcatel)
Франция Alcatel MINI GOUPYL 1989
Установка ионной имплантации с системой RBS анализа K2MV (НVЕЕ)
Нидерланды НVЕЕ K2MV 1989
Оже-электронный спектрометр PHI-660 (Perkin-Elmer)
Соединённые Штаты Америки Perkin-Elmer PHI-660 1987
ИК-спектрометр Фурье IFS-113v (Bruker)
Германия Bruker Corporation IFS-113v 1988
Микроскоп электронный сканирующий LEO 430 SEM (Carl Zeiss)
Великобритания Carl Zeiss (Zeiss AG, Карл Цейсс) LEO 430 SEM 1992
Вторичный ионный масс-спектрометр IMS-4F (Cameca)
Франция Cameca IMS-4F 1986

Услуги (15)

Для подачи заявки на оказание услуги щелкните по ее наименованию.
Наименование Приоритетное направление
Исследование и разработка технологии изготовления анодов для литий-ионных аккумуляторов на основе кремнийсодержащих нанокомпозитных материалов
Энергоэффективность, энергосбережение, ядерная энергетика
Исследование возможности создание энергонезависимых СФ блоков памяти
Энергоэффективность, энергосбережение, ядерная энергетика
Исследование технологии глубинного плазменного травления кремниевых структур для МЭМС датчиков
Индустрия наносистем
Испытание кремниевых микроподвесов
Индустрия наносистем
Исследования комбинированного жидкостного травления образцов монокристаллического кремния Si(100) и Si(111) через волнообразную наномаску
Индустрия наносистем
Исследование качественного и количественного состава технологических смесей
Индустрия наносистем
Исследование примесей и дефектов в алмазах и менаралах
Индустрия наносистем
Энергодисперсионный анализ элементного состава цеолитов
Индустрия наносистем
Исследование структуры биологических объектов методом зондовой микроскопии
Науки о жизни
Анализ образцов медной катанки
Науки о жизни
Определение топологии поверхности и размеров зерен порошка "Бетулин"
Индустрия наносистем
Энергодисперсионный анализ элементного состава цеолитов
Науки о жизни
Исследование образцов стекол со специальным покрытием
Индустрия наносистем
фазовый и элементный анализ полиэфирных порошковых красок до впекания и после впекания
Индустрия наносистем
Проведение экспертизы материалов, веществ и изделий по уголовному делу №37680
Индустрия наносистем

Методики (20)

Наименование методики Наименование организации, аттестовавшей методику Дата аттестации
Оценка относительного содержания кислорода и ванадия в тонкопленочных катодных покрытиях Ярославский государственный университет им. П.Г. Демидова 18.10.2016
Методика экспресс-контроля электрофизических параметров тонкопленочных катодов Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Ярославский государственный университет им. П.Г. Демидова» 07.09.2015
Методика экспресс-контроля электрофизических параметров тонкопленочных анодов Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Ярославский государственный университет им. П.Г. Демидова» 18.11.2015
Получение и анализ изображений микро- и нанообъектов биологического и биоминерального происхождения с установлением численных характеристик их размеров и формы. Методика выполнения измерений на сканирующем электронном микроскопе Quanta 3D 200i Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ярославский Государственный Университет имени П.Г. Демидова" 20.12.2014
Получение методом СЭМ высокого разрешения образцов наноразмерных объектов, наноструктурных материалов, сечений тонкослойных наноструктур и их анализ с получением численных данных о форме, размерах и локализации объектов и структурных особенностей. Методика выполнения измерений на сканирующем электронном микроскопе Supra-40 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ярославский Государственный Университет имени П.Г. Демидова" 20.12.2014
Методика пробоподготовки биологических нанообъектов для просвечивающей электронной микроскопии Ярославский Государственный Университет имени П.Г. Демидова 07.10.2013
Методика исследования фазового состава соединений кальция в оболочках нанобактерий различной природы, в том числе из Воротиловской научной скважины методом ИК-спектроскопии Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ярославский Государственный Университет имени П.Г. Демидова" 07.10.2013
Методика исследования фазового состава соединений кальция в оболочках нанобактерий различной природы, в том числе из Воротиловской научной скважины методом рентгеновской дифрактометрии Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ярославский Государственный Университет имени П.Г. Демидова" 07.10.2013
Методика исследования фазового состава соединений кальция в оболочках нанобактерий различной природы, в том числе из Воротиловской научной скважины методами электронографии Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ярославский Государственный Университет имени П.Г. Демидова" 07.10.2013
Методика контроля профиля тренчей трапецеидального вида методом растровой электронной микроскопии Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ярославский Государственный Университет имени П.Г. Демидова" 20.12.2012
Методика формирования наноразмерных тренчей трапецеидального вида на установке QUANTA 3D 200i Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ярославский Государственный Университет имени П.Г. Демидова" 20.12.2012
Методика исследования морфологии нанобактерий различной природы, в том числе из Воротиловской научной скважины методом просвечивающей электронной микроскопии Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ярославский Государственный Университет имени П.Г. Демидова" 07.10.2013
Методика исследования морфологии нанобактерий различной природы, в том числе из Воротиловской научной скважины методом сканирующей электронной микроскопии Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ярославский Государственный Университет имени П.Г. Демидова" 07.10.2013
Методика поверки рентгеновского дифрактометра ARL X’TRA ГЦИ СИ ФГУП "ВНИИМ им. Д.И. Менделеева" 05.03.2009
Методика рентгеноструктурного количественного анализа цеолитов Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ярославский Государственный Университет имени П.Г. Демидова" 20.12.2012
Методика пробоподготовки образцов для ПЭМ Tecnai G2 F20 U-Twin на оборудовании электронной микроскопии и пробоподготовки Quanta 3D 200i Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ярославский Государственный Университет имени П.Г. Демидова" 20.12.2012
Методика ионной имплантации Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ярославский Государственный Университет имени П.Г. Демидова" 20.12.2012
Методика RBS-анализа Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ярославский Государственный Университет имени П.Г. Демидова" 20.12.2012
Методика пробоподготовки для просвечивающей электронной микроскопии на установке утонения TEM Mill (модель 1050) фирмы Fischione Instruments Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ярославский Государственный Университет имени П.Г. Демидова" 20.12.2012
Методика пробоподготовки и исследования образцов из Кольской сверхглубокой скважины методом просвечивающей электронной микроскопии Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ярославский Государственный Университет имени П.Г. Демидова" 20.12.2012

Возврат к списку


0 комментариев

Комментарии отсутствуют!

Вы можете оставить свое сообщение первым.

Написать комментарий