Ваш браузер устарел!

Браузер, которым вы пользуетесь для просмотра этого сайта, устарел и не соответствует современным технологическим стандартам Интернета.

Вы можете установить последнюю версию подходящего браузера, воспользовавшись ссылками ниже:


Вернуться к списку ЦКП

Научно-образовательный центр «Функциональные микро/наносистемы»

Сокращенное наименование ЦКП: НОЦ ФМНС

Базовая организация: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования «Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)»

Ведомственная принадлежность: Минобрнауки России

Год создания ЦКП: 2007

Сайт ЦКП: http://fmn.bmstu.ru/

УНУ в составе оборудования ЦКП:

Заказать услуги ЦКП

Контактная информация:

Местонахождение ЦКП:

  • Федеральный округ: Центральный
  • Регион: г. Москва
  • 105082, г. Москва, Рубцовская наб., д. 2/18

Руководитель ЦКП:

  • Родионов Илья Анатольевич, кандидат технических наук, доцент
  • +7 (499) 2636531
  • irodionov@bmstu.ru

Контактное лицо:

Сведения о результативности за 2017 год (данные ежегодного мониторинга)

Участие в мониторинге: даЧисло организаций-пользователей, ед.: 9Число публикаций, ед.: 17Загрузка в интересах внешних организаций-пользователей, %: 32.05

Краткое описание ЦКП:

   Научно-образовательный центр «Функциональные Микро/Наносистемы» (ранее Учебно-инженерный центр нанотехнологий, нано- и микросистемной техники) – ультра современный  технологический центр, комплексно обновленный в 2015-2016 году, который поддерживает и обеспечивает реализацию передовых практических исследований в области оптоэлектронной элементной базы на новых физических принципах, нанофотоники и оптики, квантовых вычислений, биоаналитических платформ типа «лаборатория-на-чипе», интегрированных систем на базе МЭМС, а также тонкопленочных и толстопленочных технологий. НОЦ ФМНС является структурным подразделением МГТУ им. Н.Э. Баумана. Исследования в центре выполняются с использованием оборудования различных подразделений Университета, объединенных в единый технологический кластер, а также на оборудовании, приобретаемом в рамках динамично развивающегося промышленного консорциума.
   Технологический комплекс включает 600м2 чистокомнатных помещений с классом чистоты от ISO3 до ISO7, новейшее технологическое оборудование и необходимую для его работы уникальную инфраструктуру. Проектирование и реализация подсистем технологического центра проведена с привлечение ведущий мировых компаний, работающих в области микроэлектроники и нанотехнологий, таких как MECAL (Голландия), HAGER+ELSÄSSER (Германия), SIT AG (Швейцария), Faith (Германия), Atlas Copco (Швеция), Linde Gas (Германия), Ritterwand (Германия), Forbo Group (Швейцария) и др.
   В НОЦ ФМНС научным группам МГТУ им. Н.Э.Баумана доступны современные технологии микроэлектроники и нанотехнологий такие, как оптическая и лазерная литография, различные виды травления (плазмохимическое, жидкостное, паровое), методы физического напыления тонких пленок и напыления из газовой фазы, а также широкие метрологические возможности (сканирующая электронная микроскопия, профилометрия, рефлектометрия, эллипсометрия, оптическая микроскопия и др.), а также возможности пробоподготовки, сборки, изготовления трехмерных деталей и корпусов.
   Для обеспечения требуемых условий работы технологического оборудования в НОЦ реализованы уникальные инфраструктурные подсистемы. Трехступенчатая очистка воздуха, поступающего в лабораторию, оканчивающаяся HEPA и ULPA-фильтрами, которые задерживают до 99,9995% частиц пыли. Четырехступенчатая система виброизоляция высоко чувствительного технологического оборудования, обеспечивающая виброскорости по трем измерениям менее 1мкм/с. Установка подготовки ультрачистой деионизованной воды класса E1 с выходной фильтрацией частиц размером менее 20нм. Система обеспечения магистральным азотом (чистотой 5,0) и специальными особо чистыми газами (чистотой до 6,0) для реализации операций осаждения и травления тонких пленок. Системы оборотного водоохлаждения, обеспечения сжатым воздухом и низким вакуумом, а также три типа вытяжки со скрубберами для обеспечения требуемой очистки воздуха.
   Оборудование НОЦ ФМНС, закупленное в рамках ФАИП (2007г.) и НИУ (2009-2015 г.), используется для выполнения НИР и ОКР в рамках ФЦП «Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007—2013 годы», «Научные и научно-педагогические кадры инновационной России» Министерства образования и науки РФ, различных ФЦП Министерства промышленности и торговли, проектов Фонда перспективных исследований, а также других грантов и хоздоговорных работ. Кроме того, оборудование используется другими структурными подразделениями Университета, а также промышленными предприятиями для выполнения совместных НИОКР.
   ЦКП обеспечивает образовательную, научно-исследовательскую и опытно-технологическую деятельность кафедр и научных центров МГТУ им. Н.Э.Баумана.

Направления научных исследований, проводимых в ЦКП:

  • Нанофотоника и оптика;
  • Квантовые вычисления;
  • Бионанотехнологии;
  • МЭМС/НЭМС/МОЭМС;
  • Полимерные и наноструктурированные тонкопленочные и толстопленочные покрытия;
  • Альтернативная энергетика.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):

  • Транспортные и космические системы
  • Энергоэффективность, энергосбережение, ядерная энергетика
  • Индустрия наносистем

Фотографии ЦКП:

Научное оборудование ЦКП (номенклатура — 32 ед.):

Анализатор размеров частиц лазерный дифракционный Microtrac Bluewave
Марка:  Microtrac Bluewave
Фирма-изготовитель:  Microtrac
Страна происхождения:  Соединённые Штаты Америки
Год выпуска:  2008
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  не указано

Атомно-силовой микроскоп Solver NexT (НТ-МДТ)
Марка:  Solver NexT
Фирма-изготовитель:  ЗАО НТ-МДТ (ЗАО Нанотехнология МДТ, Инструменты нанотехнологий, Нанотехнология Санкт-Петербург, NT-MDT)
Страна происхождения:  Россия
Год выпуска:  2013
Количество единиц:  1

ВВ камера для нанесения наноструктур на оптические покрытия
Марка:  Orsay Physics
Фирма-изготовитель:  НТ-МДТ
Страна происхождения:  Россия
Год выпуска:  2006
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  да

Векторный анализатор цепей с опциями
Марка:  ZNB20
Фирма-изготовитель:  Rohde&Schwarz
Страна происхождения:  Германия
Год выпуска:  2017
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  нет

Гидравлический пресс для подготовки образцов TechPress 2 (Allied High Tech Products)
Марка:  Allied TechPress 2
Фирма-изготовитель:  Allied High Tech Products, Inc.
Страна происхождения:  Соединённые Штаты Америки
Год выпуска:  2015
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  нет

Зондовая нанолаборатория Интегра Спектра Апрайт (НТ-МДТ)
Марка:  «Интегра Спектра»
Фирма-изготовитель:  ЗАО "НТ-МДТ"
Страна происхождения:  Россия
Год выпуска:  2005
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  не указано

Инфракрасный эллипсометр FTIR-Vase (J.A. Woollam Inc)
Марка:  IR-VASE
Фирма-изготовитель:  J.A. Woollam Inc
Страна происхождения:  Соединённые Штаты Америки
Год выпуска:  2006
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  не указано

Комплекс для высокочастотных измерений сверхпроводящих СВЧ-структур на базе криостата растворения BF-LD400
Марка:  BF-LD400
Фирма-изготовитель:  BlueFors Cryogenics
Страна происхождения:  Финляндия
Год выпуска:  2017
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  нет

Комплекс оборудования для оснащения учебных лабораторий в области инженерных и естественных наук по распределенным сенсорным системам (EvoVac, Angstrom Eng., Канада и 1300Х HMDS, Brewer Science, США).
Марка:  Angstrom Engineering Evovac
Фирма-изготовитель:  Angstrom Engineering
Страна происхождения:  Канада
Год выпуска:  2015
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  не указано

Комплект оборудования для эллипсометрических и электрофизических измерений в составе: спектроскопический эллипсометр, полуавтоматическая установка ультразвуковой микросварки, установка для полуавтоматического контроля
Марка:  SER 800
Фирма-изготовитель:  Sentech
Страна происхождения:  Германия
Год выпуска:  2016
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  не указано

Лазерный генератор изображения uPG101 (Heidelberg)
Марка:  uPG101
Фирма-изготовитель:  Heidelberg
Страна происхождения:  Германия
Год выпуска:  2013
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  не указано

Междисциплинарная научно-учебная лаборатория электронно-оптической микроскопии FEI Phenom
Марка:  FEI Phenom
Фирма-изготовитель:  FEI Company
Страна происхождения:  Нидерланды
Год выпуска:  2005
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  не указано

Прецизионный отрезной станок Allied techcut 5 (Allied High Tech Products)
Марка:  Allied
Фирма-изготовитель:  Allied High Tech Products, Inc.
Страна происхождения:  Соединённые Штаты Америки
Год выпуска:  2015
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  нет

Сверхвысоковакуумный многокамерный нанотехнологический комплекс (НТ-МТД)
Марка:  блоки Нанофаб 100
Фирма-изготовитель:  ЗАО "НТ-МДТ"
Страна происхождения:  Россия
Год выпуска:  2007
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  не указано

Сверхвысоковакуумный сканирующий зондовый микроскоп с комплектом эл-в JSPM-4610А (JEOL)
Марка:  JSPM-4610А
Фирма-изготовитель:  JEOL, Ltd
Страна происхождения:  Япония
Год выпуска:  2005
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  не указано

Система сверхвысоковакуумная для проведения послойного анализа выращенных гетероструктур (Specs)
Марка:  Specs
Фирма-изготовитель:  Specs
Страна происхождения:  Германия
Год выпуска:  2009
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  не указано

Стенд для формирования многослойных коммутационных структур на полупроводниковых термоэлектрических ветвях методом лазерного 3D принтинга на базе лазерной системы Фотон-компакт
Страна происхождения:  Россия
Год выпуска:  2016
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  не указано

Стенд измерительного прецизионного измерения изменений массы MSA225S-100-DI
Фирма-изготовитель:  Sartorius
Страна происхождения:  Германия
Год выпуска:  2011
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  не указано

Стенд экспериментальный для участка микрофлюидики в комплекте Dolomite
Фирма-изготовитель:  Dolomite
Страна происхождения:  Великобритания
Год выпуска:  2015
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  не указано

Стенд экспериментальный на базе стереомикроскопа (Elveflow)
Фирма-изготовитель:  Elveflow
Страна происхождения:  Франция
Год выпуска:  2015
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  не указано

Стенд экспериментальный плазменной очистки и активации поверхности в среде инертных газов модель Pico (Diener Electronic)
Марка:  Pico
Фирма-изготовитель:  Diener Electronic GmbH
Страна происхождения:  Германия
Год выпуска:  2013
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  не указано

Стереомикроскоп Leica ES 2 (Leica Mirosystems)
Марка:  Leica ES 2
Фирма-изготовитель:  Leica Mirosystems GmbH
Страна происхождения:  Швейцария
Год выпуска:  2013
Количество единиц:  1

Тепловизор A655sc c германиевым объективом (FLIR)
Фирма-изготовитель:  FLIR
Страна происхождения:  Германия
Год выпуска:  2015
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  не указано

Тигельный пресс-рекомбинатор горячего тиснения РЕ-1200 (MNHS)
Марка:  РЕ-1200
Фирма-изготовитель:  MNHS
Страна происхождения:  Россия
Год выпуска:  2011
Количество единиц:  1

Установка бондинга SussMicroTec SB8 Gen2 (SussMicro Tec)
Марка:  SussMicroTec SB8 Gen2
Фирма-изготовитель:  SussMicroTec
Страна происхождения:  Германия
Год выпуска:  2015
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  не указано

Установка для нанесения твердых покрытий вместе с технологией Platit pi-80
Марка:  Platit pi-80
Фирма-изготовитель:  Platit
Страна происхождения:  Швейцария
Год выпуска:  2008
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  не указано

Установка инспекции поверхности в ИК-свете WBI200 (Idonus Sarl)
Марка:  Idonus WBI200
Фирма-изготовитель:  Idonus Sarl
Страна происхождения:  Швейцария
Год выпуска:  2015
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  не указано

Установка контактной литографии и совмещения для бондинга MA/BA8 Gen3 (SussMicro Tec)
Марка:  SussMicro Tec MA/BA8 Gen3
Фирма-изготовитель:  SussMicro Tec
Страна происхождения:  Германия
Год выпуска:  2015
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  не указано

Установка нанесения и сушки фоторезиста CEE 200CBX (Brewer Science)
Марка:  CEE 200CBX
Фирма-изготовитель:  Brewer Science
Страна происхождения:  Соединённые Штаты Америки
Год выпуска:  2013
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  не указано

Установка сушки и дубления фоторезиста CEE 1300X (Brewer Science)
Марка:  CEE 1300X
Фирма-изготовитель:  Brewer Science
Страна происхождения:  Соединённые Штаты Америки
Год выпуска:  2013
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  не указано

Устройство для вакуумной упаковки пакетов AZ-450E (AirZero)
Фирма-изготовитель:  AirZero
Страна происхождения:  Республика Корея
Год выпуска:  2015
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  не указано

Шлифовально-полировальный станок П12М (Полилаб)
Марка:  Полилаб П12М
Фирма-изготовитель:  Полилаб
Страна происхождения:  Россия
Год выпуска:  2014
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  нет

Услуги ЦКП (номенклатура — 62 ед.):

Для подачи заявки на оказание услуги щелкните по ее наименованию

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Дегидратация и обработка в парах ГМДС образца.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Нанесение адгезива TI Prime.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Нанесение защитного проводящего покрытия Electra 92 AR-PC 5090,02.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Нанесение ПММА 950k AR-P 672.03.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Нанесение электронно-лучевого резиста CSAR 62 (SX AR-P 6200.04).

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Обработка образца (термообработка 1 час).

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Обработка образца (термообработка 15 минут).

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Обработка образца (термообработка 30 минут).

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Нанесение AZ1505.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Обработка образца, нанесение HSQ.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Обработка образца, нанесение SU-8.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Нанесение Ultra-i123 0,8.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Обработка образца, подслой OmniCoat для нанесения SU8.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Формирование тонких пленок (с материалами заказчика).

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Анализ размеров частиц (от 10 нм до 2 мм) методом лазерной дифракции.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Проведение измерений веса исследуемых образцов с точностью до 0,01 мг. Наибольший предел взвешивания 80 г.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Горячая запрессовка образцов.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Детальное обследование поверхности полупроводниковых пластин.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Использование тепловизора.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Определение атомной структуры, топологии и электронных свойств поверхности различных материалов методами высоковакуумной высокоразрешающей сканирующей зондовой микроскопии материалов.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Комплексные исследования методами спектроскопии комбинационного отражения и атомно-силовой микроскопии химического состава поверхности материала, топографии, распределения электрических, магнитных и других свойств полимерных композиционных и полупроводниковых материалов, тонких пленок, поверхностных слоев и покрытий.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Определение атомной структуры, топологии и электронных свойств поверхности различных материалов методами высоковакуумной высокоразрешающей сканирующей зондовой микроскопии материалов при крио температурах.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Определение морфологии поверхности, линейных размеров, фазового контраста различных материалов, включая тонкие пленки, покрытия, микро- и нанодисперсные материалы, нанокомпозиты, объемные аморфные и кристаллические материалы, методами сканирующей ионной и зондовой микроскопией.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Исследование работы микрофлюидных устройств.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Исследование работы микрофлюидных устройств.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Определение морфологии поверхности, линейных размеров, фазового контраста различных материалов, включая тонкие пленки, покрытия, микро- и нанодисперсные материалы, нанокомпозиты, объемные аморфные и кристаллические материалы, методами сканирующей электронной микроскопии.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Транспортные и космические системы
Краткое описание услуги:  Комплексные исследования и разработка конструкторских и технологических решений в области термоэлектричества.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Комплексные исследования методами спектроскопии комбинационного отражения и атомно-силовой микроскопии химического состава поверхности материала, топографии, распределения электрических, магнитных и других свойств полимерных композиционных и полупроводниковых материалов, тонких пленок, поверхностных слоев и покрытий.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Контактная литография и бондинг.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Нанесение и сушка ПММА 950k.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Нанесение Copolymer Resists EL6.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Нанесение Copolymer Resists EL9.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Нанесение и сушка фоторезиста.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Нанесение ПММА 950k, А4.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Нанесение ПММА 950k, А7.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Нанесение ПММА 950k.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Нанесение упрочняющих покрытий и многослойных структур различного функционального назначения, в т.ч. барьерных, износостойких, высокой твердости, проводящих и диэлектрических покрытий.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Обработка образца (термообработка 1 минута).

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Обработка образца (термообработка 45 минут).

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Нанесение LOR-5B.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Нанесение SPR 955-1,4 CM.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Обработка образца с помощью лазерного генератора изображения uPG101.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Обучение современным методикам выполнения измерений микро- и наноструктуры и комплекса свойств материалов на научно-исследовательском оборудовании ЦКП

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Определение химического состава, толщин, оптических констант, пористости, дефектности слоев, степени кристалличности, поверхностной и межслойной шероховатости многослойных структур методами ИК-спектроэллипсометрии.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Определение элементного и химического состава материалов, в т.ч. полимерных композиционных материалов, полупроводниковых наногетероструктур, тонких пленок, поверхностных слоев и покрытий методами электронной оже-спектроскопии.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Плазменная очистка и активация поверхности в среде инертных газов.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Автоматическая, полуавтоматическая и ручная резка различных материалов для подготовки образцов к различным видам исследований с высокой точностью.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Анализ размеров частиц (от 10 нм до 2 мм) методом лазерной дифракции.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Формирование многослойных коммутационных структур на полупроводниковых термоэлектрических ветвях методом лазерного 3D принтинга.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Комплексные исследования методами спектроскопии комбинационного отражения и атомно-силовой микроскопии химического состава поверхности материала, топографии, распределения электрических, магнитных и других свойств полимерных композиционных и полупроводниковых материалов, тонких пленок, поверхностных слоев и покрытий.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Сращивание пластин.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Формирование объемных структур на поверхности материалов методом фокусированного ионного пучка, в т.ч. для создания дифракционных оптических элементов. Нанесение наноразмерных покрытий и различных слоев методом импульсной лазерной абляции.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Вакуумная упаковка пакетов.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Формирование пленки алюминия.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Формирование пленки оксида кремния.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Формирование пленки оксида циркония.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Формирование пленки титана.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Формирование пленки хрома.

Методики измерений, применяемые в ЦКП (номенклатура — 18 ед.):

МЕТОДИКА ИЗМЕРЕНИЙ ЭФФЕКТИВНОЙ ВЫСОТЫ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ С ПОМОЩЬЮ СКАНИРУЮЩЕГО ЗОНДОВОГО АТОМНО-СИЛОВОГО МИКРОСКОПА
Наименование организации, аттестовавшей методику :  Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии
Дата аттестации:  05.04.2010

Определение гранулометрического состава порошковой краски. Метод лазерной дифракции

Методика измерения параметра среднего квадратического отклонения высоты шероховатости политетрафторэтилена (ПТФЭ) после плазмо-химической модификации на поверхности с помощью зондового атомно-силового микроскопа

Методика измерения химических связей политетрафторэтилена (ПТФЭ) после плазмо-химической модификации на поверхности с помощью спектрометра комбинационного рассеяния

Методика исследования влияния плазмо-химической модификации политетрафторэтилена (ПТФЭ) на химические связи поверхности (ПТФЭ) с помощью ИК-спектральной эллипсометрии

Методика исследования диффузии кремния в структурах на основе GaAs методом ИК-спектральной эллипсометрии

Методика определения параметра дефектности поверхности строения кристаллической структуры поверхности материалов на основе кремния

Методика определения параметров наличия капельной фазы покрытий методом электронной микроскопией

Методика определения потери массы и содержание летучих конденсирующихся веществ при вакуумно-тепловом воздействии

Методика первичной (периодической) аттестации установки термовакуумных испытаний "Термовакуумная камера на базе климатической установки УТВТ-1 км4"
Наименование организации, аттестовавшей методику :  Автономная некоммерческая организация "Институт метрологии обороны и безопасности" (АНО "ИМОБ")
Дата аттестации:  16.07.2009

Методика первичной (периодической) аттестации установки термовакуумных испытаний "Термовакуумная камера на базе климатической установки VTU75/100"
Наименование организации, аттестовавшей методику :  Автономная некоммерческая организация "Институт метрологии обороны и безопасности" (АНО "ИМОБ")
Дата аттестации:  21.08.2009

Методика первичной (периодической) аттестации установки термовакуумных испытаний "Термовакуумная камера на базе климатической установки УТВТ-14КМ"
Наименование организации, аттестовавшей методику :  Автономная некоммерческая организация "Институт метрологии обороны и безопасности" (АНО "ИМОБ")
Дата аттестации:  16.07.2009

Микроскопы сканирующие зондовые семейств Solver и Ntegra (методика поверки)
Наименование организации, аттестовавшей методику :  ГЦИ СИ ФГУП "ВНИИМС"
Дата аттестации:  14.04.2010

Методика исследования морфологии и шероховатости поверхности методом атомно-силовой микроскопии

Методика определения оптических констант углеродных алмазоподобных покрытий методом ИК-спектральной эллипсометрии

Методика гранулометрического анализа нано- и микроразмерных порошков и суспензий методом лазерной дифракции

Методика экспериментального исследования деградационных явлений в многослойных наноразмерных полупроводниковых резонансно-туннельных гетероструктурах

Методика исследований термоэлектрических модулей (ноу-хау)

Вернуться к списку ЦКП

 

Для просмотра сайта поверните экран