Вебинары РИЭПП17 мая запланировано проведение вебинара на тему «Нормативно-правовая база функционирования центров коллективного пользования научным оборудованием (ЦКП) и особенности работы с порталом ckp-rf.ru».

Записаться на вебинар и посмотреть программу других вебинаров.

ГлавнаяЦентры коллективного пользованияОборудованиеЭлектронный микроскоп с системой электронной литографии Nova NanoLab 6

Каталог оборудования центров коллективного пользования


Электронный микроскоп с системой электронной литографии Nova NanoLab 600


Владелец данного оборудования
Назначение прибора

Предназначен для исследования внутреннего строения объектов на микро- и наноуровнях, создания трехмерных изображений образцов. Совместное использование фокусированных электронного и ионного пучков позволяет совмещать операции модификации подложек с выполнением анализа и контроля параметров технологического процесса. В состав Nova 600 входят: электроннолучевая колонна, оснащенная катодом с полевой эмиссией, ускоряющее напряжение от 200В до 30кВ, разрешение 1,1 нм при 15 кВ; ионная колонна Magnum с галлиевым жидкометаллическим источником ионов, ускоряющее напряжение от 5 кВ до 30 кВ, разрешение 7 нм; 4-х канальная газовая инжекционная система; система энергодисперсного рентгеновского микроанализа EDAX GENESIS 6000i; система электронно-лучевой литографии Raith DELPHY 6 MHZ. Система оснащена 5-ти осевым программно-управляемым моторизованным предметным столиком (150х150х10 мм), позиционирующим образец с высокой точностью

Информация об оборудовании

  • Марка: Nova NanoLab 600
  • Фирма-изготовитель: FEI Company
  • Год выпуска: 2007
  • Количество единиц: 1


0 комментариев

Комментарии отсутствуют!

Вы можете оставить свое сообщение первым.

Написать комментарий