Вебинары РИЭПП17 мая запланировано проведение вебинара на тему «Нормативно-правовая база функционирования центров коллективного пользования научным оборудованием (ЦКП) и особенности работы с порталом ckp-rf.ru».

Записаться на вебинар и посмотреть программу других вебинаров.

Каталог оборудования центров коллективного пользования


Система безмасковой лазерной литографии DWL 66FS (Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH)

Владелец данного оборудования
Назначение прибора

Система лазерной литографии.Минимальный топологический размер до 0,6 мкм; дискретность адресной сетки до 25,4 нм;скорость экспонирования для области 100×100 мм – до 416 мм2/мин.

Информация об оборудовании

  • Марка: DWL 66FS
  • Фирма-изготовитель: Heidelberg Instruments
  • Год выпуска: 2009
  • Количество единиц: 1

Назад в раздел


0 комментариев

Комментарии отсутствуют!

Вы можете оставить свое сообщение первым.

Написать комментарий