Каталог оборудования центров коллективного пользования


Система безмасковой лазерной литографии DWL 66FS (Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH)

Владелец данного оборудования
Назначение прибора

Система лазерной литографии.Минимальный топологический размер до 0,6 мкм; дискретность адресной сетки до 25,4 нм;скорость экспонирования для области 100×100 мм – до 416 мм2/мин.

Информация об оборудовании

  • Марка: DWL 66FS
  • Фирма-изготовитель: Heidelberg Instruments
  • Год выпуска: 2009
  • Количество единиц: 1

Назад в раздел


0 комментариев

Комментарии отсутствуют!

Вы можете оставить свое сообщение первым.

Написать комментарий