Вебинары РИЭПП17 мая запланировано проведение вебинара на тему «Нормативно-правовая база функционирования центров коллективного пользования научным оборудованием (ЦКП) и особенности работы с порталом ckp-rf.ru».

Записаться на вебинар и посмотреть программу других вебинаров.

Каталог оборудования центров коллективного пользования


Установка быстрого термического отжига Modular RTP600S (Modular Process Technology Corp.)

Владелец данного оборудования
Назначение прибора

Быстрый термический отжиг, высокотемпературный постимплантационный отжиг, отжиг металлических контактов и пленок, получение оксидных пленок.Поддерживаемый размер пластин 2 – 6 дюймов.Рабочий диапазон температур 250 – 1300°С.Точность поддержания температуры ± 2°С.Скорость изменения температуры 1 – 200°С/сек.

Информация об оборудовании

  • Марка: RTP-600S
  • Фирма-изготовитель: Modular Process Technology
  • Год выпуска: 2009
  • Количество единиц: 1

Назад в раздел


0 комментариев

Комментарии отсутствуют!

Вы можете оставить свое сообщение первым.

Написать комментарий