Каталог оборудования центров коллективного пользования


Установка быстрого термического отжига Modular RTP600S (Modular Process Technology Corp.)

Владелец данного оборудования
Назначение прибора

Быстрый термический отжиг, высокотемпературный постимплантационный отжиг, отжиг металлических контактов и пленок, получение оксидных пленок.Поддерживаемый размер пластин 2 – 6 дюймов.Рабочий диапазон температур 250 – 1300°С.Точность поддержания температуры ± 2°С.Скорость изменения температуры 1 – 200°С/сек.

Информация об оборудовании

  • Марка: RTP-600S
  • Фирма-изготовитель: Modular Process Technology
  • Год выпуска: 2009
  • Количество единиц: 1

Назад в раздел


0 комментариев

Комментарии отсутствуют!

Вы можете оставить свое сообщение первым.

Написать комментарий