Каталог оборудования центров коллективного пользования


Установка плазмохимического травления


Владелец данного оборудования
Назначение прибора

Установка ПХТ-150 предназначена для осуществления плазмохимического травления пленок кремния, оксида и нитрида кремния при температурах 50-300 OС в реакторе индукционного типа с высокой однородностью по площади (150 мм).

Информация об оборудовании

  • Марка: ПХТ-150
  • Фирма-изготовитель: ОАО "НИИТМ"
  • Год выпуска: 2009
  • Количество единиц: 1
  • Дорогостоящее оборудование
  • Востребованное оборудование

Назад в раздел


0 комментариев

Комментарии отсутствуют!

Вы можете оставить свое сообщение первым.

Написать комментарий