ГлавнаяЦентры коллективного пользованияОборудованиеОборудование для обработки покрытийОборудование для травленияУстановка плазмохимического реактивно-ионного травления SPTS LPX ICP (SPP Process Technology Systems)

Каталог оборудования центров коллективного пользования


Установка плазмохимического реактивно-ионного травления SPTS LPX ICP (SPP Process Technology Systems)

Владелец данного оборудования
Назначение прибора

Установка предназначена для проведения реактивного ионного травления многослойных гетероструктур нитридов алюминия - галлия – индия на подложках лейкосапфира или карбида кремния. Травления сквозных отверстий в подложках фосфида индия и арсенида галлия.

Информация об оборудовании

  • Марка: SPTS LPX ICP
  • Фирма-изготовитель: SPTS
  • Год выпуска: 2010
  • Количество единиц: 1

Назад в раздел


0 комментариев

Комментарии отсутствуют!

Вы можете оставить свое сообщение первым.

Написать комментарий