Ваш браузер устарел!

Браузер, которым вы пользуетесь для просмотра этого сайта, устарел и не соответствует современным технологическим стандартам Интернета.

Вы можете установить последнюю версию подходящего браузера, воспользовавшись ссылками ниже:


Вернуться к списку УНУ

«Криоинтеграл» – «Технологический и измерительный комплекс для создания сверхпроводниковых наносистем на основе новых материалов»

Сокращенное наименование УНУ: «Криоинтеграл»

Базовая организация: Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова Российской академии наук

Ведомственная принадлежность: Минобрнауки России

Классификационная группа УНУ: Стенды для электро-, теплофизических и механических испытаний

Год создания УНУ: 2005

Размер занимаемых УНУ площадей, кв. м: 159.5

Сайт УНУ: http://nanolith.ru/unu.html

Заказать услуги УНУ

Контактная информация:

Местонахождение УНУ:

  • Федеральный округ: Центральный
  • Регион: г. Москва
  • 125009, г. Москва, ул. Моховая, д. 11, корп. 7

Руководитель работ на УНУ:

Сведения о результативности за 2018 год (данные ежегодного мониторинга)

Участие в мониторинге: даЧисло организаций-пользователей, ед.: 2Число публикаций, ед.: 21Загрузка в интересах внешних организаций-пользователей, %: 6.06

Информация об УНУ:

Система электронной литографии Raith e_LiNE используется как для исследования топографии и электронных свойств микро- и нанообъектов, так и для создания объектов с предельными размерами ~20 нм в режиме прямой литографии и в режиме создания фотошаблонов. Система вакуумного магнетронного напыления обеспечивает осаждение тонкопленочных покрытий в вакууме, диаметр образца 76,2мм, давление в камере <5*10-8mbar, мощность магнетронного испарителя постоянного смещения 1,5кВт, ВЧ-смещения 0,6кВт. Аналоговый генератор сигналов E8257D обеспечивает создание непрерывных гармонических сигналов для замены гетеродина, а также анализ по методу «стимул-отклик» со свипированием по частоте. Прецизионный кондиционер предназначен специально для кондиционирования технологических помещений, где предъявляются особые требования к параметрам и чистоте воздуха. Вакуумная установка катодного распыления используется для осаждения тонких плёнок оксидных сверхпроводников.

Главные преимущества, обоснование уникальности установки, в том числе сопоставление УНУ с существующими аналогами, многофункциональность и междисциплинарность УНУ:

УНУ «Криоинтеграл» представляет собой комплекс приборов и оборудования полного цикла, позволяющий разрабатывать, изготавливать и проводить измерения интегральных наноструктур с рабочими линейными размерами порядка 50 нанометров. УНУ «Криоинтеграл» используется в рамках приоритетного направления развития науки, технологий и техники для исследования, разработки и создания новых поколений систем, приборов, устройств и их компонентов на базе технологий нано- и микросистемной техники, в частности: разработка новых интегральных наноструктур для работы в терагерцовом диапазоне; разработка, изготовление и исследование микросхемы интегрального приемника; разработаны технологии создания эпитаксиальных тонких оксидных пленок и гетероструктур. Коллектив УНУ ведет исследования в области сверхпроводниковой электроники в тесном сотрудничестве со многими зарубежными научными центрами. Следует отметить, что коллектив УНУ обладаем полным набором компетенций и технологий для изготовления уникальных сверхпроводниковых наноструктур. С помощью УНУ разработана технология изготовления сверхпроводниковых туннельных переходов Nb-AlOx-Nb и Nb-AlN-NbN с рекордными параметрами (плотности тока до 100 кА/см2); разработаны методы электронно-лучевой литографии для воспроизводимого изготовления туннельных переходов субмикронных размеров. Это позволило повысить рабочую частоту СИС-приемников, расширить их полосу и создать ряд сверхчувствительных приемных устройств диапазона 100–1000 ГГц, а также разработать технологию сверхпроводниковых интегральных схем, использованных для проведения целого ряда физических экспериментов. Разработан сверхпроводниковый интегральный приемник ТГц диапазона с уникальным набором параметров. Основным элементом приемника является интегральная микросхема, изготовленная с помощью УНУ.

Наиболее значимые научные результаты исследований (краткое описание):

Разработана технология изготовления сверхпроводниковых туннельных переходов Nb-AlOx-Nb и Nb-AlN-NbN с рекордными параметрами (плотности тока до 100 кА/см2); разработаны методы электронно-лучевой литографии для воспроизводимого изготовления туннельных переходов субмикронных размеров (площадь до 0,1 мкм2). Это позволило повысить рабочую частоту СИС-приемников, расширить их полосу и создать ряд сверхчувствительных приемных устройств диапазона 100–1000 ГГц, а также разработать технологию сверхпроводниковых интегральных схем, использованных для проведения целого ряда физических экспериментов. Разработан сверхпроводниковый интегральный приемник ТГц диапазона с уникальным набором параметров. Основным элементом приемника является интегральная микросхема, изготовленная с помощью УСУ. Для бортового интегрального приемника реализован частотный диапазон 450 – 650 ГГц, шумовая температура менее 120 К (DSB), полоса ПЧ 4 – 8 ГГц, спектральное разрешение лучше 1 МГц. На полигонах за полярным кругом совместно с Институтом космических исследований Голландии и Немецким аэрокосмическим центром были проведены 4 успешных запуска бортового интегрального спектрометра на высотном аэростате. Инструмент продемонстрировал возможность работы в экстремальных условиях (температура минус 90 С) и позволил измерить спектры различных газовых составляющих, в том числе ClO и BrO, ответственных за разрушение озонового слоя Земли.

Направления научных исследований, проводимых на УНУ:

  • актуальные проблемы физики конденсированных сред в том числе квантовой макрофизики, мезоскопики, физики наноструктур, спинтроники, сверхпроводимости;
  • физическое материаловедение, новые материалы и структуры, в том числе фуллерены, нанотрубки, графены, другие наноматериалы, а также метаматериалы;
  • фундаментальные проблемы физической электроники, в том числе разработка методов генерации, приема и преобразования электромагнитных волн с помощью твердотельных и вакуумных устройств, акустоэлектроника, релятивистская СВЧ-электроника больших мощностей, сверхпроводниковые структуры и устройства для приема и обработки информации;
  • разработка аппаратуры для космических исследований;
  • элементная база микроэлектроники, наноэлектроники и квантовых компьютеров, материалы для микро- и наноэлектроники, нано- и микросистемная техника, твердотельная электроника;
  • нанотехнологии, нанобиотехнологии, наносистемы, наноматериалы, нанодиагностика, наноэлектроника и нанофотоника.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):

    Индустрия наносистем

Фотографии:

Состав УНУ и вспомогательное оборудование: (номенклатура — 8 ед.)

Высоковакуумная установка катодного распыления Leybold Z-400
Фирма-изготовитель:  Leybold AG
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Германия
Год выпуска:  2008
Количество единиц:  1
Назначение, краткая характеристика: Осаждение тонких плёнок оксидных сверхпроводников

Генератор Agilent модели N5181А-503
Фирма-изготовитель:  Keysight Technologies
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Соединённые Штаты Америки
Год выпуска:  2009
Количество единиц:  1
Назначение, краткая характеристика: Задание СВЧ сигналов в диапазоне от 100 кГц до 3 ГГц

Микроскоп оптический 020-501.015
Фирма-изготовитель:  Ernst Leitz Wetzlar GmbH
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Германия
Год выпуска:  1993
Количество единиц:  1
Назначение, краткая характеристика: Объективы 5x, 10x, 20x, 50x, 100x; сохранение изображения при помощи цифровой камеры

Прецизионный кондиционер с водоохлаждаемым конденсатором
Фирма-изготовитель:  Tecnair LV S.p.A.
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Италия
Год выпуска:  2009
Количество единиц:  1
Назначение, краткая характеристика: Прецизионный кондиционер предназначен специально для кондиционирования технологических помещений, где предъявляются особые требования к параметрам и чистоте воздуха.

Прецизионный синтезированный генератор сигналов Agilent E8257D
Фирма-изготовитель:  Keysight Technologies
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Малайзия
Год выпуска:  2006
Количество единиц:  1
Назначение, краткая характеристика: Аналоговый генератор сигналов E8257D обеспечивает создание непрерывных гармонических сигналов для замены гетеродина, а также анализ по методу «стимул-отклик» со свипированием по частоте. Внесен в Государственный реестр средств измерений за номером 53941-13.

Установка вакуумного магнетронного напыления Kurt J. Lesker
Фирма-изготовитель:  Kurt J. Lesker Company Ltd
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Великобритания
Год выпуска:  2013
Количество единиц:  1
Назначение, краткая характеристика: Магнетронное осаждение тонкопленочных покрытий в вакууме, диаметр образца 76,2мм, давление в камере <5*10-8mbar, мощность магнетронного испарителя постоянного смещения 1,5кВт, ВЧ-смещения 0,6кВт.

Цифровой металлографический микроскоп Альтами МЕТ-5 ДИК
Фирма-изготовитель:  Альтами
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Россия
Год выпуска:  2012
Количество единиц:  1
Назначение, краткая характеристика: Универсальный металлографический микроскоп Альтами МЕТ 5-ДИК спроектирован для визуальных исследований в отраженном свете по следующим методам: дифференциально-интерференционный контраст, светлое/темное поле, поляризация. Кроме того, микроскоп позволяет наблюдать полупрозрачные и прозрачные образцы в светлом поле (проходящий свет)

Электронный микроскоп с системой электронной литографии Raith e_LiNE
Фирма-изготовитель:  Raith GmbH
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Германия
Год выпуска:  2009
Количество единиц:  1
Назначение, краткая характеристика: Система электронной литографии Raith e_LiNE используется как для исследования топографии и электронных свойств микро- и нанообъектов, так и для создания объектов с предельными размерами ~20 нм в режиме прямой литографии и в режиме создания фотошаблонов.

Услуги УНУ: (номенклатура — 0 ед.)

Для подачи заявки на оказание услуги щелкните по ее наименованию
Нет данных.

Методики измерений, применяемые на УНУ: (номенклатура — 3 ед.)

Методика изготовления однобарьерных туннельных переходов сверхпроводник-изолятор-сверхпроводник
Наименование организации, аттестовавшей методику:  ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН
Методика уникальна:  для России

Методика изготовления многослойных интегральных сверхпроводниковых микросхем
Наименование организации, аттестовавшей методику:  ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН
Методика уникальна:  для России

Методика изготовления фотошаблона с помощью электронного микроскопа с системой электронной литографии e_LiNE производства компании Raith
Наименование организации, аттестовавшей методику:  ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН
Методика уникальна:  для России

Вернуться к списку УНУ

 

Для просмотра сайта поверните экран