Ваш браузер устарел!

Браузер, которым вы пользуетесь для просмотра этого сайта, устарел и не соответствует современным технологическим стандартам Интернета.

Вы можете установить последнюю версию подходящего браузера, воспользовавшись ссылками ниже:


Вернуться к списку УНУ

Уникальная научная установка «Многофункциональный аналитический субангстремный сверхвысоковакуумный комплекс»

Сокращенное наименование УНУ: УНУ «МАССК-ИФП»

Базовая организация: Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт физики полупроводников им.А.В.Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук

Ведомственная принадлежность: Минобрнауки России

Классификационная группа УНУ: Электрофизические установки и ускорители

Год создания УНУ: 2014

Размер занимаемых УНУ площадей, кв. м: 144

Сайт УНУ: http://www.isp.nsc.ru/massk/

Заказать услуги УНУ

Контактная информация:

Местонахождение УНУ:

  • Федеральный округ: Сибирский
  • Регион: Новосибирская область
  • 630090, г. Новосибирск, проспект академика Лаврентьева, д. 13

Руководитель работ на УНУ:

  • Латышев Александр Васильевич
  • +7 (383) 3309082, (383) 3331080
  • latyshev@isp.nsc.ru

Сведения о результативности за 2017 год (данные ежегодного мониторинга)

Участие в мониторинге: нетЧисло организаций-пользователей, ед.: 0Число публикаций, ед.: 0Загрузка в интересах внешних организаций-пользователей, %: 0.00

Информация об УНУ:

Уникальный комплекс высокотехнологичного оборудования МАССК-ИФП, входящий в состав ЦКП «Наноструктуры» при ИФП СО РАН, обеспечивает проведение диагностики и прецизионное управление атомными процессами, протекающими на поверхности кристаллов на субангстремном уровне. В состав оборудования входит сверхвысоковакуумная камера с рядом испарителей, обеспечивающих суб- и многослойное осаждение различных материалов, таких как кремний, германий, золото, медь, олово, кальций, и др. в широком диапазоне скоростей осаждения и температур подложки (от азотных до температур плавления кремния). Комплекс обеспечивает проведение исследований газовых реакций на поверхности кристаллов, а также влияния ионно-лучевого травления на структуру и морфологию поверхности.

Главные преимущества, обоснование уникальности установки, в том числе сопоставление УНУ с существующими аналогами, многофункциональность и междисциплинарность УНУ:

Многофункциональный аналитический субангстремный сверхвысоковакуумный комплекс МАССК-ИФП разработан в ИФП СО РАН и не имеет аналогов в России. Единственный упрощенный прототип этого оборудования установлен в Токийском технологическом университете в Японии. Отличительной особенностью комплекса является уникальная возможность проведения in situ контроля атомных процессов на атомном уровне с применением различных диагностических методов, включающих дифракцию быстрых электронов и электронную микроскопию высокого разрешения. Процессы структурных и морфологических трансформаций регистрируются с помощью системы цифровых и аналоговых CCD камер, позволяющих анализировать изображения не только высокого пространственного, но также и временного разрешения, что обеспечивает уникальную возможность изучения быстропротекающих атомных процессов, в том числе и при высоких температурах подложки вплоть до температур плавления кремния. Комплекс непрерывно модернизируется, применение оригинального подхода к автоматизации с помощью программируемых и компьютеризированных модульных источников питания и системы обратной связи позволило полностью автоматизировать основные технологические операции при проведении исследовательских работ. Уникальность данного оборудования подтверждается регулярными публикациями авторского коллектива в высокоцитируемых зарубежных и российских журналах с высоким импакт-фактором, таких как Phys.Rev.Letters, Surface Science, J.Appl.Physics, Письма в ЖЭТФ и пр. С применением данного оборудования разработаны и запатентованы такие уникальные (не имеющие аналогов в мире) разработки как комплект эталонов высоты СТЕПП-ИФП-1 (патент РФ № RU2407101, № RU2371674), позволяющих проводить калибровку и измерения в диапазоне размеров 0,31-31 нм. (патент ), атомно-гладкое зеркало (Патент РФ № RU 2453874), позволяющее увеличить разрешение оптических интерференционных микроскопов-нанопрофилометров до 30 пикометров. Следует отметить, что в недавно вышедшей книге Ernst Bauer “Surface Microscopy with Low Energy Electrons” Springer, 2014, 496 pp. оборудование комплекса упоминается как единственное успешно функционирующее оборудование в мире. За последние пять лет по решению ученого совета при «МАССК-ИФП» в рамках международного сотрудничества для проведения совместных научных исследований на многофункциональном аналитическом субангстремном сверхвысоковакуумном комплексе в ИФП СО РАН были приглашены ряд профессоров зарубежных университетов: P.Politi (Instituto dei Sistemi Complessi CNR, Italy), V.Popkov (Max Planck Institute for the Physics of Complex Systems, Germany), B.Ranguelov (Rostislav Kaishev Institute of Physical Chemistry, Bulgaria), S.Stoyanov (Rostislav Kaishev Institute of Physical Chemistry, Bulgaria), A.Chuvilin (CIC nanoGUNE Consolider, Spain ), Se-Ahn Song (Samsung Advanced Institute of Technology, South Korea), M.R. Baklanov (IMEC, Belgium), S. Rubanov (University of Melbourne, Australia), M.Einav (Mosaic Crystals Ltd.,Israel).

Наиболее значимые научные результаты исследований (краткое описание):

С использованием уникальной научной установки МАССК-ИФП получен ряд значимых научных результатов, опубликованных в высокорейтинговых зарубежных и отечественных рецензируемых журналах. Кратко можно выделить следующие принципиально новые оригинальные результаты: - Исследованы процессы формирования морфологии атомно-чистой поверхности кремния при сублимации, гомо- и гетероэпитаксиальном росте, осаждении металлов, взаимодействии с газовой атмосферой. (Наука из первых рук. №6, 2014, с.48., Юбилейный сборник избранных трудов Института физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН (1964-2014) – Новосибирск: Параллель. – 2014.– С. 176–197.); - Исследованы атомные механизмы гомоэпитаксиального роста на широких атомно-гладких поверхностях Si(111)-(7x7). (Phys. Rev.Lett. 111, 036105 (2013)); - Разработана технология создания уникальных атомно-гладких поверхностей на основе кремния. (Патент РФ № RU 2453874); - Изучены атомные механизмы массопереноса на атомно-чистой поверхности кремния в условиях термического травления кислородом. (Surface Science 633, (2015) L1-L5.); - Исследованы процессы формирования германиевых слоев на поверхности Si(111) и (100). (Surface Science 625 (2014) 50–56.); - Разработаны высокоточные меры линейных размеров в нанодиапазоне. (Российские нанотехнологии, 8 (2013), 7-8 (июль), стр. 84-94. патент RU 02407101, патент RU 02371674).

Направления научных исследований, проводимых на УНУ:

  • Развитие методов наноструктурирования поверхности с помощью современной электронной-, ионной- и зондовой литографии для изготовления твердотельных наноструктур из полупроводниковых, металлических и органических материалов нового поколения;
  • Исследование особенностей атомного строения низкоразмерных систем с применением методов моделирования и цифровой обработки электронномикроскопических изображений с целью получения адекватной количественной информации об их структуре для создания новой счетной электронной базы;
  • Развитие методов диагностики низкоразмерных систем в нанометровом и субнанометровом диапазоне для исследований новых явлений на стыке наук;
  • Исследование элементарных структурных процессов в объеме и на поверхности кристаллов при формировании наноразмерных структур для создания новых наноматериалов с уникальными свойствами методам самоорганизации;
  • Изучение квантовых свойства наноструктурированных систем для создания систем с уникальными свойствами для различных применений;
  • Разработка и создание низкоразмерных систем для бионаноматериалов;
  • Создание опережающей метрологической базы для обеспечения единства измерений в субнанометровом диапазоне размеров.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):

    Индустрия наносистем

Состав УНУ и вспомогательное оборудование: (номенклатура — 1 ед.)

Многофункциональный аналитический субангстремный сверхвысоковакуумный комплекс МАССК-ИФП
Фирма-изготовитель:  ИФП СО РАН
Страна происхождения:  Россия
Год выпуска:  1985
Количество единиц:  1
Назначение, краткая характеристика: В состав оборудования УНУ входит сверхвысоковакуумная камера с рядом испарителей, обеспечивающих суб- и многослойное осаждение различных материалов, таких как кремний, германий, золото, медь, олово, кальций, и др. в широком диапазоне скоростей осаждения и температур подложки (от азотных до температур плавления кремния). Уникальный комплекс обеспечивает проведение исследований газовых реакций на поверхности кристаллов, а также влияния ионно-лучевого травления на структуру и морфологию поверхности. Главной отличительной особенностью комплекса является уникальная возможность проведения in situ контроля атомных процессов на атомном уровне с применением различных диагностических методов, включающих дифракцию быстрых электронов и электронную микроскопию высокого разрешения. Процессы структурных и морфологических трансформаций регистрируются с помощью системы цифровых и аналоговых CCD камер, позволяющих анализировать изображения не только высокого пространственного, но также и временного разрешения, что обеспечивает уникальную возможность изучения быстропротекающих атомных процессов, в том числе и при высоких температурах подложки вплоть до температур плавления кремния. Комплекс непрерывно модернизируется, применение оригинального подхода к автоматизации с помощью программируемых и компьютеризированных модульных источников питания и системы обратной связи позволило полностью автоматизировать основные технологические операции при проведении исследовательских работ.

Услуги УНУ: (номенклатура — 4 ед.)

Для подачи заявки на оказание услуги щелкните по ее наименованию

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем

Методики измерений, применяемые на УНУ: (номенклатура — 4 ед.)

Сверхвысоковакуумный отражательный электронный микроскоп (СВВ ОЭМ). Методика создания атомно-гладких поверхностей кремния большой площади.
Наименование организации, аттестовавшей методику:  ФГУП СНИИМ
Дата аттестации:  06.02.2014

Деформация кристаллической решетки в эпитаксиальных пленках и гетеросистемах. Методика выполнния измерений
Наименование организации, аттестовавшей методику:  ФГУП СНИИМ
Дата аттестации:  06.02.2014

Толщина пленок на поверхности гетероструктур (моноатомные слои) Методика выполнения измерений.
Наименование организации, аттестовавшей методику:  ФГУП СНИИМ
Дата аттестации:  06.02.2014

Методика измерений шероховатости поверхности твердотельных образцов
Наименование организации, аттестовавшей методику:  ФГУП СНИИМ
Дата аттестации:  06.02.2014

Вернуться к списку УНУ

 

Для просмотра сайта поверните экран