Ваш браузер устарел!

Браузер, которым вы пользуетесь для просмотра этого сайта, устарел и не соответствует современным технологическим стандартам Интернета.

Вы можете установить последнюю версию подходящего браузера, воспользовавшись ссылками ниже:


Вернуться к списку УНУ

PVD-установка NanoARCmaster 900R

Базовая организация: Научно-производственное объединение «Центральный научно-исследовательский институт технологии машиностроения»

Ведомственная принадлежность: Росатом

Классификационная группа УНУ:

Год создания УНУ: 2011

Размер занимаемых УНУ площадей, кв. м: 25

Заказать услуги УНУ

Контактная информация:

Местонахождение УНУ:

  • Федеральный округ: Центральный
  • Регион: г. Москва
  • 115088, г. Москва, ул. Шарикоподшипниковская, д. 4

Руководитель работ на УНУ:

Сведения о результативности за 2017 год (данные ежегодного мониторинга)

Участие в мониторинге: нетЧисло организаций-пользователей, ед.: 0Число публикаций, ед.: 0Загрузка в интересах внешних организаций-пользователей, %: 0.00

Информация об УНУ:

Установка предназначена для проведения исследований в области разработок новых материалов и конструкций защитных, функциональных и триботехнических покрытий, в том числе нанокристаллических с использованием методов ионного осаждения ( вакуумно-дуговое испарение, магнетронное распыление). Установка оснащена источниками питания униполярных магнетронов и дуальных распылительных систем, вакуумно-дуговых испарителей со стабилизацией катодного пятна и управления траекторией катодного пятна. В установке предусмотрено использование ионного источника, нагревателя, потенциала смещения постоянного и импульсного, до 40Кгц, тока. В установке смонтирована трехканальная система газонапуска. Управление полностью автоматическое с архивированием параметров процессов. Установка предназначена для осаждения защитных металлических и керамических покрытий на лопатки газотурбинных двигателей,  для повышения износостойкости  различных видов инструмента, деталей машин, штампового и режущего инструмента за счет формирования на поверхности защитных, функциональных и триботехнических покрытий в плазме несамостоятельного газового разряда. Осаждения износостойких покрытий осуществляются на основе нитридов, карбидов,  карбонитридов металлов и сплавов, а также за счет создания износостойких комплексов в виде диффузионного подслоя и износостойкого покрытия.

Главные преимущества, обоснование уникальности установки, в том числе сопоставление УНУ с существующими аналогами, многофункциональность и междисциплинарность УНУ:

Основное отличие данной установки от известных заключается в том, что в процессе осаждения покрытий в рабочем объеме вакуумной камеры дополнительно создается несамостоятельный разряд, обеспечивающий повышенную степень ионизации металлогазовой плазмы. За счет этого обеспечивается увеличение разрядного тока магнетронов на 30 – 40% при прочих равных условиях. Кроме того, при реактивном осаждении керамических покрытий на основе на основе оксидов исключается содержание металлической фазы. Управляя параметрами этого разряда как при дуговом так и магнетронном процессе, можно создавать покрытия с различной структурой, например, многослойные покрытия. Толщина отдельных слоев может легко варьироваться в пределах от нанометров до долей микрон. Это обеспечивает оптимальное сочетание защитных свойств покрытий. Применение многослойных керамических и металлокерамических покрытий позволит создавать многослойные функциональные покрытия с низким коэффициентом теплопроводности (λ ≤ 0,8 Вт/м К). Кроме этого возможна разработка составов, конструкции и технологии нанесения многофункциональных покрытий, таких как теплозащитных и износостойких, теплозащитных и триботехнических и др. в зависимости от условий эксплуатации изделия на которое наносится покрытие, что приводит к потенциальной возможности создания машиностроительных конструкций, обладающих принципиально новыми эксплуатационными характеристиками. Установка NanoARCmaster 900R позволяет наносить защитные наноразмерные PVD-покрытия вакуумными магнетронным и дуговым методами которые находят применение в различных отраслях промышленности. К таким покрытиям относятся жаростойкие, коррозионностойкие, триботехнические, теплозащитные и др. Сочетание свойств различных слоев покрытий позволяют разрабатывать и наносить многофункциональные покрытия, сочетающие в себе различные эксплуатационные характеристики.

Направления научных исследований, проводимых на УНУ:

  • Разработка материалов, конструкций и технологии нанесения защитных, функциональных и триботехнических покрытий в интересах ГК Росатом и  машиностроительных предприятий других отраслей.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):

    Индустрия наносистем

Состав УНУ и вспомогательное оборудование: (номенклатура — 14 ед.)

Баротрон
Фирма-изготовитель:  MKS, Франция
Год выпуска:  2011
Количество единиц:  1

Блок поджига дуги
Фирма-изготовитель:  Электронмаш-СистемРоссия
Год выпуска:  2011
Количество единиц:  6

Высоковакуумный вакуумметр
Фирма-изготовитель:  MKS, Франция
Год выпуска:  2011
Количество единиц:  1

Датчик Пирани
Фирма-изготовитель:  MKS, Франция
Год выпуска:  2011
Количество единиц:  3

Затвор
Фирма-изготовитель:  НТСТ,Тайвань
Год выпуска:  2011
Количество единиц:  1

Источник напряжения смещения
Фирма-изготовитель:  ЭСТО-ЭЛРоссия
Год выпуска:  2011
Количество единиц:  1

Источник питания дуги
Фирма-изготовитель:  Электронмаш-СистемРоссия
Год выпуска:  2011
Количество единиц:  6

Камера вакуумная
Фирма-изготовитель:  ОАО НПО «ЦНИИТМАШ», Россия
Год выпуска:  2011
Количество единиц:  1

Клапан
Фирма-изготовитель:  SMC, Япония
Год выпуска:  2011
Количество единиц:  2

Монитор
Фирма-изготовитель:  GT, Китай
Год выпуска:  2011
Количество единиц:  1

Насос турбомолекулярный
Фирма-изготовитель:  Shimadzu, Япония
Год выпуска:  2011
Количество единиц:  1

Насос форвакуумный
Фирма-изготовитель:  Alcatel, Франция
Год выпуска:  2011
Количество единиц:  1

Промышленный компьютер с клавиатурой
Фирма-изготовитель:  ROBO, Тайвань
Год выпуска:  2011
Количество единиц:  1

Стойка приборная, Стойка силовая
Фирма-изготовитель:  Rittal
Год выпуска:  2011
Количество единиц:  2

Услуги УНУ: (номенклатура — 0 ед.)

Для подачи заявки на оказание услуги щелкните по ее наименованию

Методики измерений, применяемые в ЦКП: (номенклатура — 0 ед.)

Вернуться к списку УНУ

 

Для просмотра сайта поверните экран