Уникальные научные установки

PVD-установка NanoARCmaster 900R

УНУ создана в 2011 году

Данная УНУ была поддержана в рамках мероприятия 1.8 ФЦП «Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007-2013 годы»
Данная базовая организация ЦКП имеет статус "государственный научный центр (ГНЦ)"
Адрес
  • Центральный
  • 115088, г. Москва, ул. Шарикоподшипниковская, д. 4
Руководитель работ
  • 👤Береговский Владимир Васильевич
  • 📞 (495) 675-8983; факс (495) 675-8983
  • cniitmash@cniitmash.ru
Сведения о результативности за 2016 год (данные мониторинга)
Участие в мониторинге Число организаций-пользователей, ед. Число публикаций, ед. Загрузка в интересах внешних организаций-пользователей, %
нет000.00
Базовая организация

Научно-производственное объединение «Центральный научно-исследовательский институт технологии машиностроения»

Информация об уникальной научной установке (УНУ)

Установка предназначена для проведения исследований в области разработок новых материалов и конструкций защитных, функциональных и триботехнических покрытий, в том числе нанокристаллических с использованием методов ионного осаждения ( вакуумно-дуговое испарение, магнетронное распыление). Установка оснащена источниками питания униполярных магнетронов и дуальных распылительных систем, вакуумно-дуговых испарителей со стабилизацией катодного пятна и управления траекторией катодного пятна. В установке предусмотрено использование ионного источника, нагревателя, потенциала смещения постоянного и импульсного, до 40Кгц, тока. В установке смонтирована трехканальная система газонапуска. Управление полностью автоматическое с архивированием параметров процессов. Установка предназначена для осаждения защитных металлических и керамических покрытий на лопатки газотурбинных двигателей,  для повышения износостойкости  различных видов инструмента, деталей машин, штампового и режущего инструмента за счет формирования на поверхности защитных, функциональных и триботехнических покрытий в плазме несамостоятельного газового разряда. Осаждения износостойких покрытий осуществляются на основе нитридов, карбидов,  карбонитридов металлов и сплавов, а также за счет создания износостойких комплексов в виде диффузионного подслоя и износостойкого покрытия.

Главные преимущества, обоснование уникальности установки, в том числе сопоставление УНУ с существующими аналогами

Основное отличие данной установки от известных заключается в том, что в процессе осаждения покрытий в рабочем объеме вакуумной камеры дополнительно создается несамостоятельный разряд, обеспечивающий повышенную степень ионизации металлогазовой плазмы. За счет этого обеспечивается увеличение разрядного тока магнетронов на 30 – 40% при прочих равных условиях. Кроме того, при реактивном осаждении керамических покрытий на основе на основе оксидов исключается содержание металлической фазы. Управляя параметрами этого разряда как при дуговом так и магнетронном процессе, можно создавать покрытия с различной структурой, например, многослойные покрытия. Толщина отдельных слоев может легко варьироваться в пределах от нанометров до долей микрон. Это обеспечивает оптимальное сочетание защитных свойств покрытий. Применение многослойных керамических и металлокерамических покрытий позволит создавать многослойные функциональные покрытия с низким коэффициентом теплопроводности (λ ≤ 0,8 Вт/м К). Кроме этого возможна разработка составов, конструкции и технологии нанесения многофункциональных покрытий, таких как теплозащитных и износостойких, теплозащитных и триботехнических и др. в зависимости от условий эксплуатации изделия на которое наносится покрытие, что приводит к потенциальной возможности создания машиностроительных конструкций обладающих принципиально новыми эксплуатационными характеристиками. Установка NanoARCmaster 900R позволяет наносить защитные наноразмерные PVD-покрытия вакуумными магнетронным и дуговым методами которые находят применение в различных отраслях промышленности. К таким покрытиям относятся жаростойкие, коррозионностойкие, триботехнические, теплозащитные и др. Сочетание свойств различных слоев покрытий позволяют разрабатывать и наносить многофункциональные покрытия, сочетающие в себе различные эксплуатационные характеристики.

Основные направления научных исследований, проводимых с использованием УНУ

  • Разработка материалов, конструкций и технологии нанесения защитных, функциональных и триботехнических покрытий в интересах ГК Росатом и  машиностроительных предприятий других отраслей.

115088, г. Москва, ул. Шарикоподшипниковская, д. 4

Перечень объектов в составе УНУ (14)

Наименование Изготовитель Страна Год выпуска Количество единиц
Стойка приборная, Стойка силовая Rittal 2011 2
Камера вакуумная ОАО НПО «ЦНИИТМАШ», Россия 2011 1
Клапан SMC, Япония 2011 2
Затвор НТСТ,Тайвань 2011 1
Промышленный компьютер с клавиатурой ROBO, Тайвань 2011 1
Монитор GT, Китай 2011 1
Насос форвакуумный Alcatel, Франция 2011 1
Насос турбомолекулярный Shimadzu, Япония 2011 1
Датчик Пирани MKS, Франция 2011 3
Баротрон MKS, Франция 2011 1
Высоковакуумный вакуумметр MKS, Франция 2011 1
Блок поджига дуги Электронмаш-СистемРоссия 2011 6
Источник питания дуги Электронмаш-СистемРоссия 2011 6
Источник напряжения смещения ЭСТО-ЭЛРоссия 2011 1

Возврат к списку


0 комментариев

Комментарии отсутствуют!

Вы можете оставить свое сообщение первым.

Написать комментарий