Центр коллективного пользования научным, технологическим и измерительным оборудованием на базе Федерального государственного автономного научного учреждения Институт сверхвысокочастотной полупроводниковой электроники имени В.Г. Мокерова РАН
Базовая организация: Федеральное государственное автономное научное учреждение Институт сверхвысокочастотной полупроводниковой электроники имени В.Г. Мокерова Российской академии наук
Ведомственная принадлежность: Минобрнауки России
Год создания ЦКП: 2019
Контактная информация:
Местонахождение ЦКП:
|
Руководитель ЦКП:
|
Контактное лицо:
|
Сведения о результативности за 2021 год (данные ежегодного мониторинга)
|
Направления научных исследований, проводимых в ЦКП:
|
Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):
|
Приоритетные направления Стратегии НТР (п. 20):
|
Научное оборудование ЦКП (номенклатура — 7 ед., нет данных о загрузке за 2022 год):
Установка ВИМС (Вторичная ионная масс-спектроскопия) CAMECA IMS 4F
Установка молекулярно-лучевой эпитаксии RIBER 32P
Установка низкотемпературного плазмохимического осаждения диэлектрических слоев Plasmalab-100-ICP 180 фирмы Oxford Instruments
Установка низкоэнергетического плазменного травления материалов SI-500 ICP фирмы Sentech Instruments
Установка плазменной обработки пластин Glen 1000P
Установка прецизионной контактной фотолитографии SUSS MJB4 IR
Установка электронно-лучевой нанолитографии высокого разрешения Voyager |
Услуги ЦКП (номенклатура — 0 ед.):
Нет данных. |
Методики измерений, применяемые в ЦКП (номенклатура — 0 ед.):
Нет данных. |