Местонахождение УНУ:

• Федеральный округ: Центральный
• Регион: г. Москва
• 125009, г. Москва, ул. Моховая, д. 11, корп. 7

Руководитель работ на УНУ:

• Кошелец Валерий Павлович
• +7 (495) 6293418
• valery@hitech.cplire.ru

Система электронной литографии Raith e_LiNE используется как для исследования топографии и электронных свойств микро- и нанообъектов, так и для создания объектов с предельными размерами ~20 нм в режиме прямой литографии и в режиме создания фотошаблонов. Система вакуумного магнетронного напыления обеспечивает осаждение тонкопленочных покрытий в вакууме, диаметр образца 76,2мм, давление в камере <5*10-8mbar, мощность магнетронного испарителя постоянного смещения 1,5кВт, ВЧ-смещения 0,6кВт. Аналоговый генератор сигналов E8257D обеспечивает создание непрерывных гармонических сигналов для замены гетеродина, а также анализ по методу «стимул-отклик» со свипированием по частоте. Прецизионный кондиционер предназначен специально для кондиционирования технологических помещений, где предъявляются особые требования к параметрам и чистоте воздуха. Вакуумная установка катодного распыления используется для осаждения тонких плёнок оксидных сверхпроводников.

УНУ «Криоинтеграл» представляет собой комплекс приборов и оборудования полного цикла, позволяющий разрабатывать, изготавливать и проводить измерения интегральных наноструктур с рабочими линейными размерами порядка 50 нанометров. УНУ «Криоинтеграл» используется в рамках приоритетного направления развития науки, технологий и техники для исследования, разработки и создания новых поколений систем, приборов, устройств и их компонентов на базе технологий нано- и микросистемной техники, в частности: разработка новых интегральных наноструктур для работы в терагерцовом диапазоне; разработка, изготовление и исследование микросхемы интегрального приемника; разработаны технологии создания эпитаксиальных тонких оксидных пленок и гетероструктур. Коллектив УНУ ведет исследования в области сверхпроводниковой электроники в тесном сотрудничестве со многими зарубежными научными центрами. Следует отметить, что коллектив УНУ обладаем полным набором компетенций и технологий для изготовления уникальных сверхпроводниковых наноструктур. С помощью УНУ разработана технология изготовления сверхпроводниковых туннельных переходов Nb-AlOx-Nb и Nb-AlN-NbN с рекордными параметрами (плотности тока до 100 кА/см2); разработаны методы электронно-лучевой литографии для воспроизводимого изготовления туннельных переходов субмикронных размеров. Это позволило повысить рабочую частоту СИС-приемников, расширить их полосу и создать ряд сверхчувствительных приемных устройств диапазона 100–1000 ГГц, а также разработать технологию сверхпроводниковых интегральных схем, использованных для проведения целого ряда физических экспериментов. Разработан сверхпроводниковый интегральный приемник ТГц диапазона с уникальным набором параметров. Основным элементом приемника является интегральная микросхема, изготовленная с помощью УНУ.

Разработана технология изготовления сверхпроводниковых туннельных переходов Nb-AlOx-Nb и Nb-AlN-NbN с рекордными параметрами (плотности тока до 100 кА/см2); разработаны методы электронно-лучевой литографии для воспроизводимого изготовления туннельных переходов субмикронных размеров (площадь до 0,1 мкм2). Это позволило повысить рабочую частоту СИС-приемников, расширить их полосу и создать ряд сверхчувствительных приемных устройств диапазона 100–1000 ГГц, а также разработать технологию сверхпроводниковых интегральных схем, использованных для проведения целого ряда физических экспериментов. Разработан сверхпроводниковый интегральный приемник ТГц диапазона с уникальным набором параметров. Основным элементом приемника является интегральная микросхема, изготовленная с помощью УСУ. Для бортового интегрального приемника реализован частотный диапазон 450 – 650 ГГц, шумовая температура менее 120 К (DSB), полоса ПЧ 4 – 8 ГГц, спектральное разрешение лучше 1 МГц. На полигонах за полярным кругом совместно с Институтом космических исследований Голландии и Немецким аэрокосмическим центром были проведены 4 успешных запуска бортового интегрального спектрометра на высотном аэростате. Инструмент продемонстрировал возможность работы в экстремальных условиях (температура минус 90 С) и позволил измерить спектры различных газовых составляющих, в том числе ClO и BrO, ответственных за разрушение озонового слоя Земли.

• актуальные проблемы физики конденсированных сред в том числе квантовой макрофизики, мезоскопики, физики наноструктур, спинтроники, сверхпроводимости;
• физическое материаловедение, новые материалы и структуры, в том числе фуллерены, нанотрубки, графены, другие наноматериалы, а также метаматериалы;
• фундаментальные проблемы физической электроники, в том числе разработка методов генерации, приема и преобразования электромагнитных волн с помощью твердотельных и вакуумных устройств, акустоэлектроника, релятивистская СВЧ-электроника больших мощностей, сверхпроводниковые структуры и устройства для приема и обработки информации;
• разработка аппаратуры для космических исследований;
• элементная база микроэлектроники, наноэлектроники и квантовых компьютеров, материалы для микро- и наноэлектроники, нано- и микросистемная техника, твердотельная электроника;
• нанотехнологии, нанобиотехнологии, наносистемы, наноматериалы, нанодиагностика, наноэлектроника и нанофотоника.

Индустрия наносистем

цифровые технологии, роботизированные системы, новые материалы, большие данные, машинное обучение, искусственный интеллект

Вакуумный пост HiCube 80
Фирма-изготовитель:  Pfeiffer Vacuum GmbH
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Германия
Год выпуска:  2017
Количество единиц:  1
Назначение, краткая характеристика: Высоковакуумные откачные посты Pfeiffer Vacuum серии HiCube 80 Eco представляют собой идеальное комплексное решение для получения глубокого вакуума в вакуумных камерах различного объема. Откачной пост HiCube 80 Eco является компактным мобильным изделием, полностью готовым к работе и подключаемым по принципу «Plug & Play».

Векторный анализатор цепей Rohde&Schwarz ZNB20
Фирма-изготовитель:  ROHDE & SCHWARZ
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Германия
Год выпуска:  2019
Количество единиц:  1
Назначение, краткая характеристика: Анализаторы цепей векторные ZNB20 предназначены для измерения комплексных коэффициентов передачи и отражения (S-параметров) многополюсников. Принцип действия анализаторов цепей векторных ZNB20 основан на принципе рефлектометра - раздельного выделения измерительных сигналов (падающего; прошедшего через измеряемый СВЧ многополюсник; отраженных от его входов), преобразования их в опорный и измеряемые сигналы, формирование напряжений (амплитуда и фаза), пропорциональных этим сигналам с помощью гетеродинных приемников, и дальнейшего дискретного преобразования этих напряжений с целью цифровой обработки и индикации измеряемых величин. Выделение измерительных сигналов производится с помощью резистивных мостов для ZNB20. Падающий сигнал формируется встроенными в анализаторы цепей синтезаторами. В анализаторах цепей векторных ZNB20 реализованы различные виды калибровок по наборам внешних калибровочных мер и соответствующие векторные коррекции составляющих систематической погрешности измерений. Анализаторы цепей векторные ZNB20 конструктивно выполнены в корпусе настольного исполнения и работают под управлением встроенного персонального компьютера с операционной системой Windows. Результаты измерений выводятся на сенсорный экран прибора в графической форме и могут быть сохранены в цифровой форме. Для работы в составе автоматизированных систем анализаторы цепей векторные ZNB20 обеспечивают подключение по интерфейсам GPIB и LAN (100Base-T). Диапазон частот: от 100 кГц до 20 ГГц. Погрешность установки частоты выходного сигнала: ±5х10-6 в год штатно.

Высоковакуумная установка катодного распыления Leybold Z-400
Фирма-изготовитель:  Leybold AG
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Германия
Год выпуска:  2008
Количество единиц:  1
Назначение, краткая характеристика: Осаждение тонких плёнок оксидных сверхпроводников

Генератор Agilent модели N5181А-503
Фирма-изготовитель:  Keysight Technologies
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Соединённые Штаты Америки
Год выпуска:  2009
Количество единиц:  1
Назначение, краткая характеристика: Задание СВЧ сигналов в диапазоне от 100 кГц до 3 ГГц

Держатель образцов для микроскопа JEM-2100
Фирма-изготовитель:  JEOL Japanese Electron Optics Laboratory Джеол
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Япония
Год выпуска:  2016
Количество единиц:  1
Назначение, краткая характеристика: Держатель образцов для просвечивающего электронного микроскопа JEM2100

Источник-измеритель напряжения и силы тока Keithley 2636B
Фирма-изготовитель:  Keithley Instruments Inc.
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Соединённые Штаты Америки
Год выпуска:  2019
Количество единиц:  1
Назначение, краткая характеристика: Источник/Измеритель KEITHLEY SourceMeter® 2636B представляет собой комбинацию 6 1/2 разрядного прецизионного, малошумящего, высокостабильного источника питания постоянного тока с малошумящим, высокоимпедансным мультиметром, имеющим высокую стабильность и высокий класс точности. Любой источник-измеритель KEITHLEY серии 2600B, имеет встроенный TSP (Test Script Processor) процессор, что позволяет существенно увеличить скорость и пропускную способность, а наличие встроенного TSP Express Software, позволяет быстро снимать вольтамперные характеристики (ВАХ) без дополнительного программирования. Кроме того, источники-измерители KEITHLEY SourceMeter® 2636B поддерживают программное обеспечение предыдущей серии KEITHLEY SourceMeter® 2636: LabTracer II и TestScript Builder. Каждый канал источника/измерителя 2636B может быть сконфигурирован, как:     прецизионный источник питания     источник тока (TRUE RMS)     мультиметр: напряжение постоянного тока, сила постоянного тока, сопротивление с 6½ –разрядным разрешением     генератор импульсов (длительность импульса >100мкс)     генератор сигнала (генератор формы тока: 12500 сэмпл./сек и генератор формы напряжения: 20000 сэмпл./сек)     электронная нагрузка.

Источник-измеритель напряжения и силы тока Keithley 6430
Фирма-изготовитель:  Keithley Instruments Inc.
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Соединённые Штаты Америки
Год выпуска:  2019
Количество единиц:  1
Назначение, краткая характеристика: Источник/Измеритель KEITHLEY SourceMeter® 6430 представляет собой комбинацию прецизионного, малошумящего, высокостабильного источника питания постоянного тока с малошумящим, высокоимпедансным мультиметром (6 ½ разряда), имеющим высокую стабильность и высокий класс точности. Модель 6430 снабжена сверхточным двунаправленным дистанционным предусилителем (PreAmP) соединенного с базовым комплексом через 2-х метровый кабель. Отличительной особенностью источника/Измерителя KEITHLEY SourceMeter® 6430 является работа в режиме измерения и генерации тока в диапазоне до 1 пА и измерение сопротивления в диапазоне свыше 20 ТОм.

Криомагнитная система с блоком терморегуляции
Фирма-изготовитель:  ООО «Криотред»
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Россия
Год выпуска:  2018
Количество единиц:  1
Назначение, краткая характеристика: Установка предназначена измерения действительной и мнимой части электропроводности, диэлектрической и магнитной восприимчивости образцов наноструктур полупроводников, сверхпроводников и др. в диапазоне температур от 3 К до 300 К, в магнитных полях до 100 Э, в частотной области 0-20 МГц.

Криостат сверхпроводящей магнитной системы
Фирма-изготовитель:  ООО «Криотред»
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Россия
Год выпуска:  2017
Количество единиц:  1
Назначение, краткая характеристика: Установка предназначена для измерения электропроводности, намагниченности, магнетокалорического эффекта образцов магнетиков, полупроводников, сверхпроводников, и др. в диапазоне температур от 3 К до 300 К, в магнитных полях до 10 Тл. Возможно изменение магнитного поля, воздействующего на образец с частотой до 1 Гц. Установка включает сверхпроводящий магнит до 10 Тл, термоизолированный криостат с возможностью заполнения обменным газом, а также экстракционную вставку с актюатором, позволяющим производить измерения свойств образцов (температуры, намагниченности, электропроводности) при изменении величины магнитного поля со скоростью до 10 Тл/сек.

Микроскоп оптический 020-501.015
Фирма-изготовитель:  Ernst Leitz Wetzlar GmbH
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Германия
Год выпуска:  1993
Количество единиц:  1
Назначение, краткая характеристика: Объективы 5x, 10x, 20x, 50x, 100x; сохранение изображения при помощи цифровой камеры

Настольная вакуумная установка магнетронного напыления VSE-PVD-DESK-PRO
Фирма-изготовитель:  ООО "Вакуумные системы и электроника"
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Россия
Год выпуска:  2017
Количество единиц:  1
Назначение, краткая характеристика: Установка для отработки технологии магнетронного напыления металлических и диэлектрических покрытий на твердые и дисперсные образцы. Основные характеристики: Скорость осаждения зависит от типа напыляемого материала и может достигать 7,5 Å/сек; Однородность наносимых покрытий - ±10 %; Широкий диапазон плавного регулирования выходной средней мощности - от 0,1 до 3 кВт; Точность позиционирования подложки до 0,5 мм; Одновременная загрузка 4-х подложек d = 90 мм или 6-ти подложек d = 70 мм; Варьируемая толщина покрытий - от десятков нанометров до нескольких микрон; Регулировка высоты расположения мишени относительно магнетрона.

Осциллограф АКИП-4132/1
Фирма-изготовитель:  ООО "ЭЛЕКТРОНПРИБОР"
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Россия
Год выпуска:  2018
Количество единиц:  1
Назначение, краткая характеристика: Цифровой стробоскопический USB-осциллограф. Максимальная частота стробирования до 1 МГц. Внешняя синхронизация до 2,5 ГГц, с делителем частоты до 15 ГГц. Автоизмерения (более 100 параметров включая измерение «глазковых» диаграмм (NRZ и RZ), БПФ и джиттера и др.), статистика измерений, маркерные измерения (ΔU, ΔT, ΔU/ΔT, F). Математические функции, включая быстрое преобразование Фурье (БПФ) в 2-х каналах. Отображение гистограмм параметров (напряжение/ время), усреднение, огибающая, послесвечение. Автоматизированный тест сигнала по «маске» (более 160 предустановленных шаблонов).

Прецизионный кондиционер с водоохлаждаемым конденсатором
Фирма-изготовитель:  Tecnair LV S.p.A.
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Италия
Год выпуска:  2009
Количество единиц:  1
Назначение, краткая характеристика: Прецизионный кондиционер предназначен специально для кондиционирования технологических помещений, где предъявляются особые требования к параметрам и чистоте воздуха.

Прецизионный синтезированный генератор сигналов Agilent E8257D
Фирма-изготовитель:  Keysight Technologies
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Малайзия
Год выпуска:  2006
Количество единиц:  1
Назначение, краткая характеристика: Аналоговый генератор сигналов E8257D обеспечивает создание непрерывных гармонических сигналов для замены гетеродина, а также анализ по методу «стимул-отклик» со свипированием по частоте. Внесен в Государственный реестр средств измерений за номером 53941-13.

Установка вакуумного магнетронного напыления Kurt J. Lesker
Фирма-изготовитель:  Kurt J. Lesker Company Ltd
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Великобритания
Год выпуска:  2013
Количество единиц:  1
Назначение, краткая характеристика: Магнетронное осаждение тонкопленочных покрытий в вакууме, диаметр образца 76,2мм, давление в камере <5*10-8mbar, мощность магнетронного испарителя постоянного смещения 1,5кВт, ВЧ-смещения 0,6кВт.

Фотолитографическая система SMARTPRINT
Фирма-изготовитель:  Microlight3D
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Франция
Год выпуска:  2019
Количество единиц:  1
Назначение, краткая характеристика: Инструмент для литографии без использования фотолитографических шаблонов. Изображение с цифрового носителя с микрометрическим разрешением проецируется непосредственно на образец. Размеры структур от 2мкм до 25мм.

Цифровой металлографический микроскоп Альтами МЕТ-5 ДИК
Фирма-изготовитель:  Альтами
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Россия
Год выпуска:  2012
Количество единиц:  1
Назначение, краткая характеристика: Универсальный металлографический микроскоп Альтами МЕТ 5-ДИК спроектирован для визуальных исследований в отраженном свете по следующим методам: дифференциально-интерференционный контраст, светлое/темное поле, поляризация. Кроме того, микроскоп позволяет наблюдать полупрозрачные и прозрачные образцы в светлом поле (проходящий свет)

Электронный микроскоп с системой электронной литографии Raith e_LiNE
Фирма-изготовитель:  Raith GmbH
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Германия
Год выпуска:  2009
Количество единиц:  1
Назначение, краткая характеристика: Система электронной литографии Raith e_LiNE используется как для исследования топографии и электронных свойств микро- и нанообъектов, так и для создания объектов с предельными размерами ~20 нм в режиме прямой литографии и в режиме создания фотошаблонов.