Местонахождение УНУ:

• Федеральный округ: Центральный
• Регион: г. Москва
• 125009, г. Москва, ул. Моховая, д. 11, корп. 7

Руководитель работ на УНУ:

• Кошелец Валерий Павлович
• +7 (495) 6293418
• valery@hitech.cplire.ru

Система электронной литографии Raith e_LiNE используется как для исследования топографии и электронных свойств микро- и нанообъектов, так и для создания объектов с предельными размерами ~20 нм в режиме прямой литографии и в режиме создания фотошаблонов. Система вакуумного магнетронного напыления обеспечивает осаждение тонкопленочных покрытий в вакууме, диаметр образца 76,2мм, давление в камере <5*10-8mbar, мощность магнетронного испарителя постоянного смещения 1,5кВт, ВЧ-смещения 0,6кВт. Аналоговый генератор сигналов E8257D обеспечивает создание непрерывных гармонических сигналов для замены гетеродина, а также анализ по методу «стимул-отклик» со свипированием по частоте. Прецизионный кондиционер предназначен специально для кондиционирования технологических помещений, где предъявляются особые требования к параметрам и чистоте воздуха. Вакуумная установка катодного распыления используется для осаждения тонких плёнок оксидных сверхпроводников.

УНУ «Криоинтеграл» представляет собой комплекс приборов и оборудования полного цикла, позволяющий разрабатывать, изготавливать и проводить измерения интегральных наноструктур с рабочими линейными размерами порядка 50 нанометров. УНУ «Криоинтеграл» используется в рамках приоритетного направления развития науки, технологий и техники для исследования, разработки и создания новых поколений систем, приборов, устройств и их компонентов на базе технологий нано- и микросистемной техники, в частности: разработка новых интегральных наноструктур для работы в терагерцовом диапазоне; разработка, изготовление и исследование микросхемы интегрального приемника; разработаны технологии создания эпитаксиальных тонких оксидных пленок и гетероструктур. Коллектив УНУ ведет исследования в области сверхпроводниковой электроники в тесном сотрудничестве со многими зарубежными научными центрами. Следует отметить, что коллектив УНУ обладаем полным набором компетенций и технологий для изготовления уникальных сверхпроводниковых наноструктур. С помощью УНУ разработана технология изготовления сверхпроводниковых туннельных переходов Nb-AlOx-Nb и Nb-AlN-NbN с рекордными параметрами (плотности тока до 100 кА/см2); разработаны методы электронно-лучевой литографии для воспроизводимого изготовления туннельных переходов субмикронных размеров. Это позволило повысить рабочую частоту СИС-приемников, расширить их полосу и создать ряд сверхчувствительных приемных устройств диапазона 100–1000 ГГц, а также разработать технологию сверхпроводниковых интегральных схем, использованных для проведения целого ряда физических экспериментов. Разработан сверхпроводниковый интегральный приемник ТГц диапазона с уникальным набором параметров. Основным элементом приемника является интегральная микросхема, изготовленная с помощью УНУ.

Разработана технология изготовления сверхпроводниковых туннельных переходов Nb-AlOx-Nb и Nb-AlN-NbN с рекордными параметрами (плотности тока до 100 кА/см2); разработаны методы электронно-лучевой литографии для воспроизводимого изготовления туннельных переходов субмикронных размеров (площадь до 0,1 мкм2). Это позволило повысить рабочую частоту СИС-приемников, расширить их полосу и создать ряд сверхчувствительных приемных устройств диапазона 100–1000 ГГц, а также разработать технологию сверхпроводниковых интегральных схем, использованных для проведения целого ряда физических экспериментов. Разработан сверхпроводниковый интегральный приемник ТГц диапазона с уникальным набором параметров. Основным элементом приемника является интегральная микросхема, изготовленная с помощью УСУ. Для бортового интегрального приемника реализован частотный диапазон 450 – 650 ГГц, шумовая температура менее 120 К (DSB), полоса ПЧ 4 – 8 ГГц, спектральное разрешение лучше 1 МГц. На полигонах за полярным кругом совместно с Институтом космических исследований Голландии и Немецким аэрокосмическим центром были проведены 4 успешных запуска бортового интегрального спектрометра на высотном аэростате. Инструмент продемонстрировал возможность работы в экстремальных условиях (температура минус 90 С) и позволил измерить спектры различных газовых составляющих, в том числе ClO и BrO, ответственных за разрушение озонового слоя Земли.

• актуальные проблемы физики конденсированных сред в том числе квантовой макрофизики, мезоскопики, физики наноструктур, спинтроники, сверхпроводимости;
• физическое материаловедение, новые материалы и структуры, в том числе фуллерены, нанотрубки, графены, другие наноматериалы, а также метаматериалы;
• фундаментальные проблемы физической электроники, в том числе разработка методов генерации, приема и преобразования электромагнитных волн с помощью твердотельных и вакуумных устройств, акустоэлектроника, релятивистская СВЧ-электроника больших мощностей, сверхпроводниковые структуры и устройства для приема и обработки информации;
• разработка аппаратуры для космических исследований;
• элементная база микроэлектроники, наноэлектроники и квантовых компьютеров, материалы для микро- и наноэлектроники, нано- и микросистемная техника, твердотельная электроника;
• нанотехнологии, нанобиотехнологии, наносистемы, наноматериалы, нанодиагностика, наноэлектроника и нанофотоника.

Индустрия наносистем

цифровые технологии, роботизированные системы, новые материалы, большие данные, машинное обучение, искусственный интеллект

4,2К болометрическая система общего назначения с тремя фильтрами диапазона волн 15-2000мкм
Фирма-изготовитель:  Infrared Laboratories
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Соединённые Штаты Америки
Год выпуска:  2020
Количество единиц:  1
Назначение, краткая характеристика: Болометры - детекторы, используемые для измерения падающего ИК-излучения. Они очень чувствительны к тепловому излучению и преимущественно используются в ИК-спектре от 10 до 5000мкм (от 30ТГц до 60 ГГц). Детекторный элемент представляет собой чрезвычайно чувствительный термистор, который охлаждается до температуры жидкого гелия для уменьшения теплового фона. Любое тепловое излучение, попадающее на детектор, вызовет изменение температуры. Это вызовет изменение сопротивления, которое усиливается и измеряется как разность напряжений.

Вакуумный пост HiCube 80
Фирма-изготовитель:  Pfeiffer Vacuum GmbH
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Германия
Год выпуска:  2017
Количество единиц:  1
Назначение, краткая характеристика: Высоковакуумные откачные посты Pfeiffer Vacuum серии HiCube 80 Eco представляют собой идеальное комплексное решение для получения глубокого вакуума в вакуумных камерах различного объема. Откачной пост HiCube 80 Eco является компактным мобильным изделием, полностью готовым к работе и подключаемым по принципу «Plug & Play».

Векторный анализатор цепей Rohde&Schwarz ZNB20
Фирма-изготовитель:  ROHDE & SCHWARZ
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Германия
Год выпуска:  2019
Количество единиц:  1
Назначение, краткая характеристика: Анализаторы цепей векторные ZNB20 предназначены для измерения комплексных коэффициентов передачи и отражения (S-параметров) многополюсников. Принцип действия анализаторов цепей векторных ZNB20 основан на принципе рефлектометра - раздельного выделения измерительных сигналов (падающего; прошедшего через измеряемый СВЧ многополюсник; отраженных от его входов), преобразования их в опорный и измеряемые сигналы, формирование напряжений (амплитуда и фаза), пропорциональных этим сигналам с помощью гетеродинных приемников, и дальнейшего дискретного преобразования этих напряжений с целью цифровой обработки и индикации измеряемых величин. Выделение измерительных сигналов производится с помощью резистивных мостов для ZNB20. Падающий сигнал формируется встроенными в анализаторы цепей синтезаторами. В анализаторах цепей векторных ZNB20 реализованы различные виды калибровок по наборам внешних калибровочных мер и соответствующие векторные коррекции составляющих систематической погрешности измерений. Анализаторы цепей векторные ZNB20 конструктивно выполнены в корпусе настольного исполнения и работают под управлением встроенного персонального компьютера с операционной системой Windows. Результаты измерений выводятся на сенсорный экран прибора в графической форме и могут быть сохранены в цифровой форме. Для работы в составе автоматизированных систем анализаторы цепей векторные ZNB20 обеспечивают подключение по интерфейсам GPIB и LAN (100Base-T). Диапазон частот: от 100 кГц до 20 ГГц. Погрешность установки частоты выходного сигнала: ±5х10-6 в год штатно.

Высоковакуумная установка катодного распыления Leybold Z-400
Фирма-изготовитель:  Leybold AG
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Германия
Год выпуска:  2008
Количество единиц:  1
Назначение, краткая характеристика: Осаждение тонких плёнок оксидных сверхпроводников

Гелиевый криостат замкнутого цикла
Фирма-изготовитель:  ColdEdge International, Inc.
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Соединённые Штаты Америки
Год выпуска:  2020
Количество единиц:  1
Назначение, краткая характеристика: Гелиевый криостат замкнутого цикла для проведения оптических измерений при температурах в диапазоне 4,2 – 325 градусов Кельвина и стабильности +/- 0,01 градуса, в условиях вакуума, обеспечивающий уровень вибраций исследуемого объекта порядка 5 нм

Генератор Agilent модели N5181А-503
Фирма-изготовитель:  Keysight Technologies
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Соединённые Штаты Америки
Год выпуска:  2009
Количество единиц:  1
Назначение, краткая характеристика: Задание СВЧ сигналов в диапазоне от 100 кГц до 3 ГГц

Держатель образцов для микроскопа JEM-2100
Фирма-изготовитель:  JEOL Japanese Electron Optics Laboratory Джеол
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Япония
Год выпуска:  2016
Количество единиц:  1
Назначение, краткая характеристика: Держатель образцов для просвечивающего электронного микроскопа JEM2100

Источник-измеритель напряжения и силы тока Keithley 2636B
Фирма-изготовитель:  Keithley Instruments Inc.
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Соединённые Штаты Америки
Год выпуска:  2019
Количество единиц:  1
Назначение, краткая характеристика: Источник/Измеритель KEITHLEY SourceMeter® 2636B представляет собой комбинацию 6 1/2 разрядного прецизионного, малошумящего, высокостабильного источника питания постоянного тока с малошумящим, высокоимпедансным мультиметром, имеющим высокую стабильность и высокий класс точности. Любой источник-измеритель KEITHLEY серии 2600B, имеет встроенный TSP (Test Script Processor) процессор, что позволяет существенно увеличить скорость и пропускную способность, а наличие встроенного TSP Express Software, позволяет быстро снимать вольтамперные характеристики (ВАХ) без дополнительного программирования. Кроме того, источники-измерители KEITHLEY SourceMeter® 2636B поддерживают программное обеспечение предыдущей серии KEITHLEY SourceMeter® 2636: LabTracer II и TestScript Builder. Каждый канал источника/измерителя 2636B может быть сконфигурирован, как:     прецизионный источник питания     источник тока (TRUE RMS)     мультиметр: напряжение постоянного тока, сила постоянного тока, сопротивление с 6½ –разрядным разрешением     генератор импульсов (длительность импульса >100мкс)     генератор сигнала (генератор формы тока: 12500 сэмпл./сек и генератор формы напряжения: 20000 сэмпл./сек)     электронная нагрузка.

Источник-измеритель напряжения и силы тока Keithley 6430
Фирма-изготовитель:  Keithley Instruments Inc.
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Соединённые Штаты Америки
Год выпуска:  2019
Количество единиц:  1
Назначение, краткая характеристика: Источник/Измеритель KEITHLEY SourceMeter® 6430 представляет собой комбинацию прецизионного, малошумящего, высокостабильного источника питания постоянного тока с малошумящим, высокоимпедансным мультиметром (6 ½ разряда), имеющим высокую стабильность и высокий класс точности. Модель 6430 снабжена сверхточным двунаправленным дистанционным предусилителем (PreAmP) соединенного с базовым комплексом через 2-х метровый кабель. Отличительной особенностью источника/Измерителя KEITHLEY SourceMeter® 6430 является работа в режиме измерения и генерации тока в диапазоне до 1 пА и измерение сопротивления в диапазоне свыше 20 ТОм.

Криомагнитная система с блоком терморегуляции
Фирма-изготовитель:  ООО «Криотрейд»
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Россия
Год выпуска:  2018
Количество единиц:  1
Назначение, краткая характеристика: Установка предназначена измерения действительной и мнимой части электропроводности, диэлектрической и магнитной восприимчивости образцов наноструктур полупроводников, сверхпроводников и др. в диапазоне температур от 3 К до 300 К, в магнитных полях до 100 Э, в частотной области 0-20 МГц.

Криостат сверхпроводящей магнитной системы
Фирма-изготовитель:  ООО «Криотрейд»
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Россия
Год выпуска:  2017
Количество единиц:  1
Назначение, краткая характеристика: Установка предназначена для измерения электропроводности, намагниченности, магнетокалорического эффекта образцов магнетиков, полупроводников, сверхпроводников, и др. в диапазоне температур от 3 К до 300 К, в магнитных полях до 10 Тл. Возможно изменение магнитного поля, воздействующего на образец с частотой до 1 Гц. Установка включает сверхпроводящий магнит до 10 Тл, термоизолированный криостат с возможностью заполнения обменным газом, а также экстракционную вставку с актюатором, позволяющим производить измерения свойств образцов (температуры, намагниченности, электропроводности) при изменении величины магнитного поля со скоростью до 10 Тл/сек.

Микроскоп оптический 020-501.015
Фирма-изготовитель:  Ernst Leitz Wetzlar GmbH
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Германия
Год выпуска:  1993
Количество единиц:  1
Назначение, краткая характеристика: Объективы 5x, 10x, 20x, 50x, 100x; сохранение изображения при помощи цифровой камеры

Модуль широкополосной перестройки длины волны
Фирма-изготовитель:  ООО «Фемтоника»
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Россия
Год выпуска:  2020
Количество единиц:  1
Назначение, краткая характеристика: Модуль широкополосной перестройки длины волны

Настольная вакуумная установка магнетронного напыления VSE-PVD-DESK-PRO
Фирма-изготовитель:  ООО "Вакуумные системы и электроника"
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Россия
Год выпуска:  2017
Количество единиц:  1
Назначение, краткая характеристика: Установка для отработки технологии магнетронного напыления металлических и диэлектрических покрытий на твердые и дисперсные образцы. Основные характеристики: Скорость осаждения зависит от типа напыляемого материала и может достигать 7,5 Å/сек; Однородность наносимых покрытий - ±10 %; Широкий диапазон плавного регулирования выходной средней мощности - от 0,1 до 3 кВт; Точность позиционирования подложки до 0,5 мм; Одновременная загрузка 4-х подложек d = 90 мм или 6-ти подложек d = 70 мм; Варьируемая толщина покрытий - от десятков нанометров до нескольких микрон; Регулировка высоты расположения мишени относительно магнетрона.

Оптический профилометр Contour GT-1
Фирма-изготовитель:  Bruker Corporation
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Соединённые Штаты Америки
Год выпуска:  2019
Количество единиц:  1
Назначение, краткая характеристика: Предназначен для высокоточного построения трехмерной картины поверхности неразрушающим оптическим методом, измерения широкого ряда количественных и геометрических параметров поверхности для металлов, керамики и прозрачных материалов, диагностики тонких пленок и литографии.

Осциллограф АКИП-4132/1
Фирма-изготовитель:  ООО "ЭЛЕКТРОНПРИБОР"
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Россия
Год выпуска:  2018
Количество единиц:  1
Назначение, краткая характеристика: Цифровой стробоскопический USB-осциллограф. Максимальная частота стробирования до 1 МГц. Внешняя синхронизация до 2,5 ГГц, с делителем частоты до 15 ГГц. Автоизмерения (более 100 параметров включая измерение «глазковых» диаграмм (NRZ и RZ), БПФ и джиттера и др.), статистика измерений, маркерные измерения (ΔU, ΔT, ΔU/ΔT, F). Математические функции, включая быстрое преобразование Фурье (БПФ) в 2-х каналах. Отображение гистограмм параметров (напряжение/ время), усреднение, огибающая, послесвечение. Автоматизированный тест сигнала по «маске» (более 160 предустановленных шаблонов).

Переносной анализатор спектра Rohde & Schwarz FPH от 5 кГц до 13 ГГц
Фирма-изготовитель:  Rohde & Schwarz
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Малайзия
Год выпуска:  2021
Количество единиц:  1
Назначение, краткая характеристика: Анализатор спектра. Высокопроизводительное и эргономичное устройство. Имея превосходные ВЧ-характеристики, этот прибор может захватывать слабые сигналы с DANL такого низкого уровня, как –163 дБмВт.

Прецизионный кондиционер с водоохлаждаемым конденсатором
Фирма-изготовитель:  Tecnair LV S.p.A.
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Италия
Год выпуска:  2009
Количество единиц:  1
Назначение, краткая характеристика: Прецизионный кондиционер предназначен специально для кондиционирования технологических помещений, где предъявляются особые требования к параметрам и чистоте воздуха.

Прецизионный синтезированный генератор сигналов Agilent E8257D
Фирма-изготовитель:  Keysight Technologies
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Малайзия
Год выпуска:  2006
Количество единиц:  1
Назначение, краткая характеристика: Аналоговый генератор сигналов E8257D обеспечивает создание непрерывных гармонических сигналов для замены гетеродина, а также анализ по методу «стимул-отклик» со свипированием по частоте. Внесен в Государственный реестр средств измерений за номером 53941-13.

Рамановский спектрограф HEDA
Фирма-изготовитель:  NOST Co. Ltd.
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Республика Корея (Южная Корея)
Год выпуска:  2020
Количество единиц:  1
Назначение, краткая характеристика: Конфокальный микроскоп с рамановским спектрометром. Рамановский спектрометр обеспечивает многофункциональное измерение в одном кадре. Рамановское измерение. Измерение фотолюминесценции. Измерение фототока и электролюминесценции. Измерение отражения и пропускания лазера (освещение светлого поля и темного поля). Измерение поляризации. Измерение гиперспектрального изображения. Основные особенности: Простота использования и меньшие затраты на обслуживание. Полная автоматизация: моторизованное управление мощностью лазера, размером точечного отверстия, решеткой, сменой лазерной линии, затвором и выбором режима (изображение и обнаружение). Автокалибровка спектрометра. Встроенный источник лампы для автоматической спектральной калибровки с помощью программного обеспечения в один клик. Револьверная головка с высокоточной решеткой для повторяемости <0,05 см-1 с системой позиционирования энкодера.

Установка вакуумного магнетронного напыления Kurt J. Lesker
Фирма-изготовитель:  Kurt J. Lesker Company Ltd
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Великобритания
Год выпуска:  2013
Количество единиц:  1
Назначение, краткая характеристика: Магнетронное осаждение тонкопленочных покрытий в вакууме, диаметр образца 76,2мм, давление в камере <5*10-8mbar, мощность магнетронного испарителя постоянного смещения 1,5кВт, ВЧ-смещения 0,6кВт.

Фотолитографическая система SMARTPRINT
Фирма-изготовитель:  Microlight3D
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Франция
Год выпуска:  2019
Количество единиц:  1
Назначение, краткая характеристика: Инструмент для литографии без использования фотолитографических шаблонов. Изображение с цифрового носителя с микрометрическим разрешением проецируется непосредственно на образец. Размеры структур от 2мкм до 25мм.

Цифровой металлографический микроскоп Альтами МЕТ-5 ДИК
Фирма-изготовитель:  Альтами
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Россия
Год выпуска:  2012
Количество единиц:  1
Назначение, краткая характеристика: Универсальный металлографический микроскоп Альтами МЕТ 5-ДИК спроектирован для визуальных исследований в отраженном свете по следующим методам: дифференциально-интерференционный контраст, светлое/темное поле, поляризация. Кроме того, микроскоп позволяет наблюдать полупрозрачные и прозрачные образцы в светлом поле (проходящий свет)

Электронный микроскоп с системой электронной литографии Raith e_LiNE
Фирма-изготовитель:  Raith GmbH
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Германия
Год выпуска:  2009
Количество единиц:  1
Назначение, краткая характеристика: Система электронной литографии Raith e_LiNE используется как для исследования топографии и электронных свойств микро- и нанообъектов, так и для создания объектов с предельными размерами ~20 нм в режиме прямой литографии и в режиме создания фотошаблонов.